Các hệ thống điều khiển / kiểm soát > Robot chân không COVOT

Robot chân không COVOT

DSGBTS110055

Robot COVOT được thiết kế để vận hành trong môi trường chân không cao, và dựa trên công nghệ robot KEYTRAN.

COVOT cần ít khoảng không hơn KEYTRAN mà vẫn giữ các tính năng như độ chính xác chi tiết.

Các tính năng

§ Cần điều khiển trực tiếp

    Các cần có thể vận hành mà không bị giật lùi.

§ Bộ phận tác động cuối đôi

    COVOT là một model với một bộ phận tác động cuối đôi để xử lý cỡ các lớp nền đến 300mm.

§ Vòng quay 360 độ

    COVOT không phải thiết lập các điều kiện hướng.

 

Ứng dụng

§ Tự động chuyển đổi cơ cấu cho hệ thống sản xuất chất bán dẫn.

§ Tự động chuyển đổi cơ cấu cho nhiều hệ thống thí nghiệm xử lý đến 300mm lớp nền.


Quy cách kỹ thuật

 

cho 200mm lớp nền

cho 300mm lớp nền

Đường kính mặt bích

φ280mm với O-ring (kiểu:AS568A-275)

Áp suất vận hành

10-5 đến 105Pa

Nung

Không thể nung

Đường kính xoay tròn tối thiểu

654mm

944mm

Dải di chuyển

Bán kính: 670mm

Bán kính: 1050mm

Vòng quay: 360 degree

Trục Z : 28mm

Tốc độ di chuyển*

Bán kính: Tối đa 1.4 giây/Toàn thì

Vòng quay: Tối đa 2.2s/180 độ

Trục Z : Tối đa 0.9 giây/20mm

 

 *Không có lớp nền nào có tải.

GIỚI THIỆU
gioi thieu cong ty ULVAC Việt Nam là Văn phòng đại diện của CÔNG TY TNHH ULVAC SINGAPORE PTE.
http://www.ulvac.com.sg/ 
logo1
logo2
SẢN PHẨM NỔI BẬT
dong san pham bom chan khong quay dau vd 240 den 1800 lit phut Dòng sản phẩm Bơm chân không quay dầu VD (240 đến 1800 lít/phút)
lo xu ly nhiet chan khong kieu me fhb 60c Lò xử lý nhiệt chân không kiểu mẻ FHB-60C
TIN TỨC
Tin công ty Tin tuyển dụng
TRIỂN LÃM METALEX VIỆT NAM 2017
THAY ĐỔI ĐỊA CHỈ VĂN PHÒNG
TRIỂN LÃM VME VIETNAM MANUFACTURING EXPO 2017
TRIỂN LÃM PROPAK VIỆT NAM 2017
Sớm bắt đầu bán“MILA-700AR”, hệ thống đèn luyện kim mini, không sử dụng nước làm mát
Trang chủ    |    Giới thiệu     |    Sản phẩm    |    Dịch vụ    |    Tin tức     |    Liên hệ
© 2017 Văn phòng đại diện ULVAC tại Việt Nam . Designed & Developed by EMSVN
Đang online: 15
Lượt truy cập: 680871