Các hệ thống điều khiển / kiểm soát > Nền tích hợp công cụ cụm chân không NCH-4000

Nền tích hợp công cụ cụm chân không NCH-4000

RBLQCI105434

Nền NCH-4000 là model cơ bản của ULVAC với một khoá nạp đơn và ba mặt xử lý. NCH-4000 được thiết kế dựa trên công nghệ hệ thống ENTRON. NCH-4000 có sự chọn thêm giữa KEYTRAN-IV Z hoặc COVOT, cho một robot chân không.

Các tính năng

§ NCH-4000 là một hệ thống chi phí thấp, cần ít khoảng trống hơn.

§ Các buồng có bề mặt sạch, và tạo ít hạt hơn.

§ NCH-400 có một khoá nạp với 25 lớp nền, xử lý tự động đến lớp nền 300mm.

§ Thiết bị chọn thêm bao gồm: xử lý lớp nền cỡ nhỏ; các bơm trước; cơ cấu nung và tương tự.

 

Ứng dụng

§ Nền cho hệ thống sản xuất chất bán dẫn.

§ Nền cho nhiều hệ thống thí nghiệm chuyển đến lớp nền 300mm.


Quy cách kỹ thuật

 

Tiêu chuẩn Model

Chọn thêm

Xử lý lớp nền

φ200mm hoặc φ300mm

Cỡ khác

Mặt

3 (Rộng 336mm x Cao 50mm)

-

Robot

COVOTTM

KEYTRANTM-IVZ

Các máy bơm

TMP

Các bơm trước, các bẫy cryo

Khoá nạp

25 lớp nền với thiết bị nâng

1 lớp nền không có thiết bị nâng

Cơ cấu nung

-

Bộ gia nhiệt với nguồn điện

Hệ điều khiển mềm

-

Cyber CELLTM

GIỚI THIỆU
gioi thieu cong ty ULVAC Việt Nam là Văn phòng đại diện của CÔNG TY TNHH ULVAC SINGAPORE PTE.
http://www.ulvac.com.sg/ 
logo1
logo2
SẢN PHẨM NỔI BẬT
dong san pham bom chan khong quay dau vd 240 den 1800 lit phut Dòng sản phẩm Bơm chân không quay dầu VD (240 đến 1800 lít/phút)
lo xu ly nhiet chan khong kieu me fhb 60c Lò xử lý nhiệt chân không kiểu mẻ FHB-60C
TIN TỨC
Tin công ty Tin tuyển dụng
TRIỂN LÃM METALEX VIỆT NAM 2017
THAY ĐỔI ĐỊA CHỈ VĂN PHÒNG
TRIỂN LÃM VME VIETNAM MANUFACTURING EXPO 2017
TRIỂN LÃM PROPAK VIỆT NAM 2017
Sớm bắt đầu bán“MILA-700AR”, hệ thống đèn luyện kim mini, không sử dụng nước làm mát
Trang chủ    |    Giới thiệu     |    Sản phẩm    |    Dịch vụ    |    Tin tức     |    Liên hệ
© 2017 Văn phòng đại diện ULVAC tại Việt Nam . Designed & Developed by EMSVN
Đang online: 98
Lượt truy cập: 637432