Vật liệu > ULKS

Các vật tư màng điện môi lớp xen giữa k thấp với khả năng chống hư hại plasma được tăng cường ULKS Phiên bản 3

DNLKHS111927

ULKS Phiên bản 3 là vật tư để sử dụng như các màng điện môi ở các LSI thế hệ sau. Những vật tư màng điện môi lớp xen giữa (k thấp) có hằng số điện môi tương đối thấp, mà sử dụng một silica xốp, đem lại khả năng chống hư hại plasma được tăng cường.

Các tính năng

§ Dung sai đối với plasma tương đương với phương pháp CVD-K thấp

§ Dung sai máy thấp hơn so với phương pháp CVD-K thấp

§ Quy trình K thấp đơn giản [lớp phủ in kim, nung mềm, lưu hoá UV]

§ Tỉ lệ hằng số điện môi 2,0; 2,2; 2,4

 

Ứng dụng

§ Các màng điện môi cho các LSI.


Quy cách kỹ thuật

Hằng số điện môi

2.0

2.2

2.4

Môđun của Young GPa

4 - 5

7 - 8

11 - 12

Chỉ số khúc xạ

1,22

1,26

1,33

Nhiệt độ xử lý

350ºC ủ + UV lưu hoá

Current Mật độ dòng rò rỉ (A/cm2@1MV/cm)

< 3E-9

GIỚI THIỆU
gioi thieu cong ty ULVAC Việt Nam là Văn phòng đại diện của CÔNG TY TNHH ULVAC SINGAPORE PTE.
http://www.ulvac.com.sg/ 
logo1
logo2
SẢN PHẨM NỔI BẬT
dong san pham bom chan khong quay dau vd 240 den 1800 lit phut Dòng sản phẩm Bơm chân không quay dầu VD (240 đến 1800 lít/phút)
lo xu ly nhiet chan khong kieu me fhb 60c Lò xử lý nhiệt chân không kiểu mẻ FHB-60C
TIN TỨC
Tin công ty Tin tuyển dụng
TRIỂN LÃM METALEX VIỆT NAM 2017
THAY ĐỔI ĐỊA CHỈ VĂN PHÒNG
TRIỂN LÃM VME VIETNAM MANUFACTURING EXPO 2017
TRIỂN LÃM PROPAK VIỆT NAM 2017
Sớm bắt đầu bán“MILA-700AR”, hệ thống đèn luyện kim mini, không sử dụng nước làm mát
Trang chủ    |    Giới thiệu     |    Sản phẩm    |    Dịch vụ    |    Tin tức     |    Liên hệ
© 2017 Văn phòng đại diện ULVAC tại Việt Nam . Designed & Developed by EMSVN
Đang online: 70
Lượt truy cập: 637404