> Hệ thống mạ CVD

Hệ thống kiểu cụm PE-CVD CME-200E/400

NGZEFT041018

CME-200E/400 là model thích hợp nhất trong hệ thống sản xuất dòng sản phẩm PE-CVD cho sự lắng đọng các màng Si với ứng dụng như chất cách điện hoặc các lớp ngăn cách.

Các tính năng

§ Quy trình plasma mật độ cao với nguồn điện có tần số cao (27.12 MHz).

§ Màng chất lượng cao sử dụng tiền chất SiH4: SiO2, SiNx, SiON, a-Si, cũng dành cho quy trình TEOS cho màng SiO2.

§ Làm sạch buồng với NF3+Ar plasma.

§ Hỗ trợ bộ gia nhiệt để có sự lắng đọng nhiệt độ thấp của EL hữu cơ.

§ Cỡ lớp nền đến 200 x 200mm cho CME-200E, Tối đa 300 x 400mm cho CME-400.

 

Ứng dụng

§ Thiết bị điện

§ LED, LD, Thiết bị tốc độ cao

§ LED hữu cơ

§ Pin mặt trời

§ MEMS

 

GIỚI THIỆU
gioi thieu cong ty ULVAC Việt Nam là Văn phòng đại diện của CÔNG TY TNHH ULVAC SINGAPORE PTE.
http://www.ulvac.com.sg/ 
logo1
logo2
SẢN PHẨM NỔI BẬT
dong san pham bom chan khong quay dau vd 240 den 1800 lit phut Dòng sản phẩm Bơm chân không quay dầu VD (240 đến 1800 lít/phút)
lo xu ly nhiet chan khong kieu me fhb 60c Lò xử lý nhiệt chân không kiểu mẻ FHB-60C
TIN TỨC
Tin công ty Tin tuyển dụng
TRIỂN LÃM QUỐC TẾ MTA VIETNAM 2019
THAY ĐỔI ĐỊA CHỈ VĂN PHÒNG
Sớm bắt đầu bán“MILA-700AR”, hệ thống đèn luyện kim mini, không sử dụng nước làm mát
ULVAC được trao tặng giải thưởng First Kanagawa Award cho hoạt động ngăn chặn sự nóng lên toàn cầu trong hạng mục phát triển công nghệ giảm khí thải n
Trang chủ    |    Giới thiệu     |    Sản phẩm    |    Dịch vụ    |    Tin tức     |    Liên hệ
© 2019 Văn phòng đại diện ULVAC tại Việt Nam . Designed & Developed by EMSVN
Đang online: 2
Lượt truy cập: 32587414