Thiết bị bán dẫn > ENTRONTM-EX W300

ENTRONTM-EX W300

entrontm ex w300

ENTRONTM-EX là phiên bản các công cụ từ dòng sản phẩm ENTRON, có nhiều ghi nhận chuyển giao. ENTRONTM-EX được phát triển theo yêu cầu nâng cao năng suất như máy tích hợp, với hiệu suất đến các thiết bị 32nm nút.

Các tính năng
§
ENTRONTM-EX là dòng mới nhất được phát triển dựa trên dòng sản phẩm ENTRONTM-W300/W200 hiện có theo yêu cầu nâng cao năng suất.
§
Có thể được trang bị đến 8 buồng xử lý (PVD, ALD, CVD,....) và 2 các buồng (Degas, cool).
§
Thông lượng cơ học là 100wph trở lên sử dụng bởi robot chuyển đổi mới ban đầu của ULVAC.
§
ENTRONTM-EX kiểu S (kiểu đơn lõi) thích hợp cho khái niệm phòng thí nghiệm tối thiểui và ENTRONTM-EX kiểu T (kiểu Tandem) tốt cho việc sản xuất hàng loạt, chúng đáp ứng linh hoạt với nhu cầu của khách hàng.
§ Có thể được trang bị với hệ thống ED-PMS mà theo dõi và quản lý điều kiện máy, và MESEC-BIT, mà phải các công cụ đo lường chiều dày màng không tiếp xúc.

Ứng dụng

§ Các thiết bị sản xuất chất bán dẫn tiên tiến.

GIỚI THIỆU
gioi thieu cong ty ULVAC Việt Nam là Văn phòng đại diện của CÔNG TY TNHH ULVAC SINGAPORE PTE.
http://www.ulvac.com.sg/ 
logo1
logo2
SẢN PHẨM NỔI BẬT
dong san pham bom chan khong quay dau vd 240 den 1800 lit phut Dòng sản phẩm Bơm chân không quay dầu VD (240 đến 1800 lít/phút)
lo xu ly nhiet chan khong kieu me fhb 60c Lò xử lý nhiệt chân không kiểu mẻ FHB-60C
TIN TỨC
Tin công ty Tin tuyển dụng
TRIỂN LÃM METALEX VIỆT NAM 2017
THAY ĐỔI ĐỊA CHỈ VĂN PHÒNG
TRIỂN LÃM VME VIETNAM MANUFACTURING EXPO 2017
TRIỂN LÃM PROPAK VIỆT NAM 2017
Sớm bắt đầu bán“MILA-700AR”, hệ thống đèn luyện kim mini, không sử dụng nước làm mát
Trang chủ    |    Giới thiệu     |    Sản phẩm    |    Dịch vụ    |    Tin tức     |    Liên hệ
© 2017 Văn phòng đại diện ULVAC tại Việt Nam . Designed & Developed by EMSVN
Đang online: 77
Lượt truy cập: 637411