Thiết bị bán dẫn > Hệ thống phun nhiều buồng ENTRONTM-EX2 W300

Hệ thống phun nhiều buồng ENTRONTM-EX2 W300

multi chamber sputtering system entrontm ex2 w300

Hệ thống phun nhiều buồng ENTRONTM-EX2 W300 là nền tảng mới nhất có thể có để kết hợp nhiều quy trình. Model hiện đại với khả năng mở rộng đáp ứng nhu cầu khách hàng về thông lượng cao và tiết kiệm năng lượng,.... cho thế hệ sau. ULVAC sẽ đáp ứng các nhu cầu khách hàng bằng nhiều sản phẩm như các môđun PVD và CVD tiên tiến đến dây nano bằng công nghệ gốc của chúng tôi.

Các tính năng
§ Cấu hình môđun linh hoạt.
§ Tích hợp các quy trình PVD và CVD/ALD
§ Nhiều ứng dụng (dây Al & Cu, kim loại chặn TI/TiN, UBM và Co/Ni salicide....)
§ Khả năng xử lý không chỉ cho các thiết bị Si mà còn cho các chất bán dẫn, các thiết bị thạch anh,....
§ 10 môđun xử lý tối đa có thể được trang bị dựa trên khái niệm công cụ cụm
§ Nền tảng đơn hoặc Tandem là có sẵn
§ Năng suất cao
    Tốc độ chuyển đổi lớp nền là 60%UP trong tỉ lệ trên model hiện có.
    Một hiệu suất xử lý sản xuất cao và CO2 thấp đã đạt được.
§ Xem xét đến môi trường
    Nhiều chức năng tiết kiệm năng lượng là tiêu chuẩn được lắp đặt, và tiết kiệm năng lượng 30% trên model hiện tại đã đạt được.
§ Được trang bị với hệ thống điều khiển tuẩn thủ chất bán dẫn Fab thế hệ sau.
    Hệ điều khiển màng mỏng tuyệt hảo và tuân thủ EES.
    Tuân thủ Fab tự động hoá tiên tiến cao


Ứng dụng

§ Bộ nhớ chất bán dẫn tiên tiến (DRAM & Flash bộ nhớ)
§ NVM thế hệ sauSTTMRAM, ReRAM, PRAM, FeRAM
§ Các thiết bị logic tiên tiến
§ Cảm biến hình ảnh CMOS

GIỚI THIỆU
gioi thieu cong ty ULVAC Việt Nam là Văn phòng đại diện của CÔNG TY TNHH ULVAC SINGAPORE PTE.
http://www.ulvac.com.sg/ 
logo1
logo2
SẢN PHẨM NỔI BẬT
dong san pham bom chan khong quay dau vd 240 den 1800 lit phut Dòng sản phẩm Bơm chân không quay dầu VD (240 đến 1800 lít/phút)
lo xu ly nhiet chan khong kieu me fhb 60c Lò xử lý nhiệt chân không kiểu mẻ FHB-60C
TIN TỨC
Tin công ty Tin tuyển dụng
TRIỂN LÃM METALEX VIỆT NAM 2017
THAY ĐỔI ĐỊA CHỈ VĂN PHÒNG
TRIỂN LÃM VME VIETNAM MANUFACTURING EXPO 2017
TRIỂN LÃM PROPAK VIỆT NAM 2017
Sớm bắt đầu bán“MILA-700AR”, hệ thống đèn luyện kim mini, không sử dụng nước làm mát
Trang chủ    |    Giới thiệu     |    Sản phẩm    |    Dịch vụ    |    Tin tức     |    Liên hệ
© 2017 Văn phòng đại diện ULVAC tại Việt Nam . Designed & Developed by EMSVN
Đang online: 52
Lượt truy cập: 637386