Máy bơm rễ nhiều tầng là máy bơm chân không khô được sử dụng trong các hệ thống chân không thấp, trung bình, cao và siêu cao để tạo ra các điều kiện “khô”.

 

Bơm sạch vì dầu không được sử dụng trong buồng làm việc. Nó có hiệu quả đối với CVD và các quá trình khắc vì không có dầu nào phản ứng với khí hoạt động.

Bạn biết gì về bơm chân không khô loại rễ nhiều tầng?

Máy bơm rễ đơn giản (một tầng) được sử dụng phổ biến nhất như một máy bơm tăng áp để sử dụng kết hợp với một số loại máy bơm phía trước (chẳng hạn như máy bơm cánh quay, máy bơm trục vít và vòng chất lỏng) để cải thiện (hoặc ‘tăng’) áp suất tối đa và tốc độ bơm. Trong khi đó máy bơm rễ nhiều tầng khi sử dụng không cần bơm trước và chúng có thể hoạt động từ áp suất khí quyển. Một máy bơm rễ nhiều tầng có thể bao gồm tối đa tám giai đoạn và sử dụng một số bộ rôto (trên một trục dùng chung).

Máy bơm rễ thích hợp ở những nơi quan trọng hoặc có nhiều khả năng là cần thiết cho bầu không khí khô và sạch. Do đó, chúng thường được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn và tấm pin mặt trời, cũng như các lớp phủ, các ứng dụng công nghiệp khác và cho các công cụ và nghiên cứu khoa học.

Máy bơm rễ nhiều tầng

Bơm sạch vì dầu không được sử dụng trong buồng làm việc

Ở dạng đơn giản nhất, máy bơm rễ sử dụng hai đơn vị rôto chia thùy được kết nối ngược chiều quay bên trong vỏ hoặc vỏ stato. Khí đi vào qua một mặt bích đầu vào nằm vuông góc với các khối quay và sau đó được “cách ly” giữa các rôto quay nhanh (quay theo các hướng ngược nhau) và stato. Khí nén sau đó được đẩy ra ngoài qua cổng xả. 

Được xây dựng dựa trên mô hình đơn giản này của máy bơm rễ, máy bơm rễ nhiều tầng (có thể bao gồm tối đa tám giai đoạn) sử dụng một số bộ rôto (trên một trục dùng chung). Hình học của roto tạo nén một thứ do đó  mỗi giai đoạn áp lực dần dần cao hơn. Theo cách này, sản phẩm của công đoạn thấp hơn là “khí cấp” cho công đoạn cao hơn tiếp theo (nhưng không có bất kỳ van liên kết nào). 

Trong các đơn vị máy bơm nhiều tầng không có sự tiếp xúc giữa rôto và vỏ stato – các bộ phận này được làm kín, chúng rất chắc chắn và chúng có thể hoạt động trong thời gian dài giữa các lần bảo dưỡng. Ngoài ra, thế hệ máy bơm gốc đa tầng mới được thiết kế đặc biệt để sử dụng trong môi trường yên tĩnh và sạch sẽ, chẳng hạn như trong các thiết bị phân tích và phòng thí nghiệm nghiên cứu, nơi – hoạt động với tốc độ bơm từ 25 đến 200 m3 / h – chúng tạo ra tiếng ồn rất thấp.

Tính năng của máy bơm chân không khô kiểu rễ nhiều tầng

Bơm chân không khô kiểu Roots là loại bơm chân không khô được tích hợp với bơm tăng áp cơ nhiều tầng. Bơm chân không khô kiểu rễ có rôto hình ba lá có thể nén và xả tới áp suất khí quyển bằng cách kết nối rôto nhiều tầng với một trục duy nhất.

Đặc tính hiệu suất của máy bơm chân không khô loại rễ nhiều tầng

Các đặc tính hoạt động của máy bơm rễ thay đổi tùy thuộc vào một số yếu tố, bao gồm số giai đoạn, kích thước đơn vị, vòng quay, tốc độ hoạt động, nhiệt độ môi trường, áp suất đầu vào ban đầu và đặc tính của khí được bơm.

Cơ chế của máy bơm chân không khô kiểu rễ nhiều tầng

  • Vận chuyển khí bằng rôto tốc độ cao.
  • Máy bơm có hai rô to hình ba lá (thân quay) trong một hộp gọi là vỏ. Một cặp bánh răng quay ngược chiều nhau trong cùng một chu kỳ. 
  • Các rôto không tiếp xúc với nhau, và rôto và vỏ không tiếp xúc với nhau. Chúng quay để chuyển và nén khí trong khi vẫn duy trì một khe hở nhỏ.
  • Rôto có cấu trúc nhiều tầng và nén đến áp suất khí quyển, sau đó bơm vào khí quyển.
Máy bơm rễ nhiều tầng
Máy bơm rễ nhiều tầng ULVAC dòng UR600

Ưu điểm của máy bơm chân không khô kiểu rễ nhiều tầng

Máy bơm rễ đa tầng có nhiều ưu điểm hơn so với các máy bơm khác, và đáng ngạc nhiên là có rất ít nhược điểm hoặc hạn chế.

  • Thiết kế nhỏ gọn
  • Động cơ điều khiển tần số s
  • Mạnh mẽ, với khoảng thời gian phục vụ lâu dài
  • Độ ồn thấp hơn so với cuộc trò chuyện của con người
  • Không có tiếp xúc giữa các bộ phận chuyển động (và do đó không bị mài mòn)
  • Bơm sạch – không bị nhiễm bẩn và không có dầu
  • Các linh kiện được niêm phong kín
  • Có được chân không sạch và có thể được sử dụng từ áp suất khí quyển đến áp suất cuối cùng.
  • Không tạo ra các hạt hoặc bất kỳ nhu cầu nào về dầu có thể gây ô nhiễm hệ thống chân không và sản phẩm cuối cùng.
máy bơm chân không khô loại rễ nhiều tầng
Máy bơm rễ nhiều tầng ULVAC dòng RS

Nhược điểm của máy bơm chân không khô kiểu rễ nhiều tầng

  • Chi phí dịch vụ tương đối cao hơn 
  • Khi bơm gần áp suất khí quyển, chúng hiển thị hiệu suất bơm thấp hơn so với các loại bơm khác
  • Máy không thích hợp để bơm chất lỏng
  • Kích thước lớn cho tốc độ bơm
  • Khả năng đạt được sự chênh lệch áp suất nhỏ, đó là lý do tại sao chúng được sử dụng ở định dạng nhiều tầng trong đó mỗi giai đoạn tăng dần có thể xây dựng dựa trên mức tăng áp suất đạt được từ quá trình nén của giai đoạn trước.

Ứng dụng của máy bơm chân không khô loại rễ nhiều tầng

Máy bơm rễ đa tầng được sử dụng chủ yếu ở những nơi có thể sử dụng các đặc tính khô, sạch và tốc độ bơm cao để có lợi thế tốt nhất. Kết quả là các ứng dụng của chúng bao gồm: dụng cụ phân tích, R&D và không gian, các ngành công nghiệp bán dẫn và năng lượng mặt trời, và ngành công nghiệp laser.

Chúng cũng được sử dụng trong lò nung, luyện kim và nhiều ứng dụng phủ khác nhau (nơi tính chất rất khô của chúng rất có lợi). Không những thế còn được sử dụng trong các thiết bị sản xuất chất bán dẫn, chưng cất chân không, khử khí thanh lọc, khử trùng, làm khô, khử nước, khử trùng.

Trả lời

Email của bạn sẽ không được hiển thị công khai. Các trường bắt buộc được đánh dấu *