ULVAC

May kiểm tra rò rỉ

HỆ THỐNG KIỂM TRA RÒ RỈ TỰ ĐỘNG DÒNG QYH-300

Bao gồm: Mô-đun buồng chân không, mô-đun đánh giá, mô-đun sạc & thu hồi He, mô-đun khí nén, mô-đun điều khiển thiết bị & điện và máy dò rò rỉ phổ khối lượng, v.v.

Consists of pressure-proof and sniffer Helium leak detector test, evacuation station, Helium charging station, Helium recovery station, main cabinet