ULVAC

Hệ thống phún xạ chân không

SV Series

Vertical batch-type sputter systems. Series models include the SV-200 disk stamper model, and carousel types for large-volume substrate processing.

SX Series

Batch-type Sputtering System SX series is for batch type sputtering system for research & development and small production application.

ENTRONTM-EX W300

ENTRONTM-EX cho phép kết hợp nhiều quy trình hiện đại khác nhau như PVD, CVD, ALD và nhận ra quy trình In-Situ đơn giản và mạnh mẽ.

MLXTM-3000N đáp ứng các yêu cầu phức tạp của khách hàng nhờ tính linh hoạt của quy trình và khả năng kiểm soát vượt trội cũng như hiệu suất chi phí tuyệt vời.

ULDiS Series

Dòng ULDIS là hệ thống phún xạ kỹ thuật số đã nâng cao chế độ Meta và hiện thực hóa các bộ lọc và lớp phủ quang học chất lượng cao. ULVAC đã ký thỏa thuận cấp phép với Tập đoàn JDS Uniphase của Hoa Kỳ; Giấy phép MetaMode® sputter cho ứng dụng quang học. ULDIS có sẵn để đặt tại doanh nghiệp của bạn và phát triển rộng rãi.

SRH Series

SRH Series là hệ thống sản xuất mạ màng kim loại cho thiết bị điện, WL-CSP hoặc UBM hoặc ứng dụng tương tự.

SME-200E

SME-200E là hệ thống phún xạ kiểu cụm cho mục đích nghiên cứu và phát triển và sản xuất.

 

CS-200

Load-lock type Sputtering System CS 200 is for research & development and small production application.

ACS-4000

Compact sputtering system is available for research and development of multi layer thin film, compound materials or other devices, using automatic process operation by PC. Also more large size substrate (4 inch dia.) than ever system is available.

CS-L

It is possible to arrange for various module conbination; Atmospheric cassette, Single piece, Atmospheric transfer, Vaccum transfer. Compact design integrated with control unit.

uGmni-200, 300

uGmni is to equip with a variety of different process modules on the same transfer core which makes reducing spare parts by adopting the same common parts as much as possible as well as improves usability with the same operation panel between these different modules. This improves further efficiency for manufacturing process of advanced electronics.

SMD Series

The SMD Series are single-substrate sputtering systems for deposition of films such as metal films and ITO films. ULVAC has delivered a large number of these systems, for use in a wide range of production environments. ULVAC responds rapidly to feedback from production sites to improve the reliability of these models.

SCH Series

The SCH Series are horizontal in-line sputtering systems for deposition of transparent conductive films and other metal films. They can be used to depositi films such as back conatct and barrier layers in solar cell production lines.

SPW Series

SPW Series is a equipment that can be sputtered optical thin film and metal etc multilayer film on plastic film.
Gas separation chanber for batch processing of high-function multilayer films.