ULVAC

HỘ THỐNG PHÚN XẠ NHIỀU BUỒNG ENTRONTM-EXW300

ENTRONTM-EX cho phép kết hợp nhiều quy trình hiện đại khác nhau như PVD, CVD, ALD và nhận ra quy trình In-Situ đơn giản và mạnh mẽ.

ĐẶC ĐIỂM

  • ENTRONTM-EX là dòng sản phẩm mới nhất được phát triển dựa trên dòng ENTRONTM-W300 / W200 xuất sắc để đạt được năng suất cao.
  • Lên đến 8 buồng xử lý (PVD, ALD, CVD, v.v.) và 2 buồng (Degas, mát).
  • Thông lượng cơ học là 100wph trở lên bằng cách sử dụng rô bốt chuyển tải mới ban đầu của ULVAC.
  • ENTRONTM-EX S-type (Loại lõi đơn) phù hợp với khái niệm mini-fab và ENTRONTM-EX loại T (loại Tandem) phù hợp với sản xuất hàng loạt, chúng linh hoạt cho nhu cầu của khách hàng.
  • Hệ thống ED-PMS giám sát và quản lý tình trạng máy và MESEC-BIT, không phải là công cụ đo độ dày màng tiếp xúc.

ỨNG DỤNG

  • Thiết bị sản xuất chất bán dẫn tiên tiến