ULVAC

BỘ NGĂN PHÓNG ĐIỆN BẤT THƯỜNG DÒNG A2K

Trong các quá trình xử lý phún xạ, bộ ngăn chặn phóng điện bất thường dòng A2K áp dụng các xung điện áp dương vào máy phát điện một chiều để trung hòa điện tích trên mục tiêu. Đơn vị này có thể dễ dàng gắn vào thiết bị hiện có và nó đạt được những cải tiến về tỷ lệ năng suất và thông lượng với chi phí thấp.

ĐẶC ĐIỂM

  • Thông lượng cao

Làm cho công suất đầu vào cao có thể bằng cách giảm bất thường

  • Giảm hư hỏng chất nềnCó khả năng giảm thiệt hại chất nền do các vòng cung gây ra
  • Hạn chế nhiệt độ chất nềnCó khả năng ức chế nhiệt độ bề mặt so với phún xạ RF
  • Kết nối đơn giảnCó thể dễ dàng kết nối với thiết bị hiện có * 1
  • Tần số xung đảo ngược thay đổiPhạm vi có thể: A2KH-25/50: 1kHz đến 20kHz, A2K-20K / 40K: 1kHz đến 50kHz
  • Hệ thống đồng bộ hóa PulseXung đầu ra cho nhiều đơn vị A2K có thể được đồng bộ hóa * 2 * 3
  • Có khả năng dung lượng lớn thông qua kết nối chủ / tớTối đa sáu đơn vị A2K-20K / 40K có thể hoạt động song song

Ứng dụng: Hệ thống đồng bộ hóa xung

a2kdata.jpg

Khi các catot ở gần trong cùng một buồng và chúng đối diện nhau hoặc khi có sự can thiệp vào quá trình phóng điện của nhiều đơn vị A2K, xung nghịch đảo A2K có thể được đặt thành cùng pha hoặc ngược pha bằng cách sử dụng chức năng điều khiển pha để ngăn phóng điện nhiễu. * 3 * 4

* 1 : Có thể được kết nối với nguồn điện DC dòng ULVAC DPG
* 2 : Không thể đồng bộ hóa xung và hoạt động song song khi sử dụng hỗn hợp A2KH-25,50 và A2K-20K, 40K đơn vị
* 3 : A2KH-25/50 yêu cầu thiết bị đồng bộ hóa bên ngoài (PHSM / PHSS)
* 4 : A2K-20K / 40K chỉ có khả năng điều khiển pha trong pha

ỨNG DỤNG

  • Thiết bị phún xạ phản ứng cho FPD
  • Thiết bị phún xạ phản ứng cho lớp phủ công nghiệp
  • Thiết bị phún xạ phản ứng cho TFT màu

specifications

ModelA2KH-25A2KH-50A2K-20KA2K-40K
Control power inputInputAC90 to 110VAC100 to 240V
FrequencySingle phase 50/60Hz
Power100VA120VA400VA
Leak current1mA or less
Input specificationoperating voltage-100 to -800V
operating current0 to 25A0 to 50A0 to 50A0 to 100A
Input structureConnector connectionTerminal block or connector connectionConnector connection
Output specificationPulse range5μs/10μs ( Internal switch switching )1 to 18μs (There is a frequency limitation)
Oscillating frequency・Pulse range 5μs:
 2,5,10,15,20kHz
・Pulse range 10μs:
 1,2.5,5,7.5,10kHz
1 to 50KHz
Variable in 1KHz increments
Inversion pulse voltage10 to 20% of the DC power generator output voltages. ( It depends on a load impedance )
Withstand voltagecontinuous operation-1500Vdc
Parallel operationNothingUp to 6units can be controlled *5
Cooling methodForced air-cooling
Dimension(W×D×H)238×450×149mm430×450×149mm483×630×177mm
Weight16kg27kg30kg45kg
Applicable standardRoHs

Nhiệt độ hoạt động xung quanh 5 ℃ đến 40 ℃ (không ngưng tụ)

Môi trường hoạt động: Tránh ánh nắng trực tiếp, nhiệt, bụi, rung và không có khí ăn mòn.

* 5 : A2K-20K và A2K-40K không được sử dụng cùng nhau.