ULVAC

BƠM CHÂN KHÔNG VÒNG DẦU DÒNG VD

Dòng VD là máy bơm vòng dầu dẫn động trực tiếp với động cơ đa điện áp hiệu suất cao (IE3) được phát triển hoàn toàn bởi ULVAC. Máy hút cơ dạng cánh quay kép này đạt được áp suất cuối cùng thấp hơn. Tối ưu hóa thiết kế tạo ra hoạt động yên tĩnh và do đó máy bơm này phù hợp cho nhiều ứng dụng.

ĐẶC ĐIỂM

  • Động cơ đa điện áp hiệu suất cao (IE3) được phát triển hoàn toàn bởi ULVAC

          Một động cơ duy nhất có thể bao phủ một dải điện áp rộng, 200 đến 240V / 380 đến 460V.

  • Hệ thống tuần hoàn dầu cưỡng chế

          Tốc độ bơm ổn định ngay cả khoảng áp suất khí quyển. Thích hợp để chạy lặp lại và liên tục giữa áp suất khí quyển và chân không.

  • Các tùy chọn khác nhau có sẵn cho ứng dụng đặc biệt
    3 loại, loại A, B và H, có sẵn ngoài loại tiêu chuẩn cho các ứng dụng đặc biệt.

ỨNG DỤNG

  • Bốc hơi, phún xạ, mạ ion
  • Dụng cụ phân tích và hệ thống kiểm tra rò rỉ
  • Trao đổi khí, nạp chất lỏng Hút chân không khô, đông khô, khử khí chân không và cách nhiệt chân không
  • Mâm cặp chân không và khuôn chân không
  • Các thiết bị chân không khác

BẢNG TIÊU CHUẨN

ModelVD30CVD40CVD60CVD90C
Designed pumping speed
m3/h /L/min / cfm
50
Hz
30/500/17.6640/670/23.5460/1000/35.3190/1500/52.97
60
Hz
36/600/21.2948/800/28.2572/1200/42.38108/1800/63.57
Ultimate pressure Pa/Torr/mbar *1GP close0.67/5×10-3/6.7×10-3
GP open6.7/5×10-2/6.7×10-2
Maximum water vapor tolerance Pa/Torr/mbarGP open50
Hz
1300/9.8/13.01360/10.2/13.61320/9.9/13.2970/7.3/9.7
60
Hz
1400/10.5/14.01760/13.2/17.62800/21.0/28.02820 *2/21.2/28.2
Maximum water vapor capacity g/hGP open50
Hz
190270430480
60
Hz
25041011001650 *2
MotorTypeTotally enclosed fan cooled 3 phase induction motor
Energy efficiency classIE3
kw/HP(number of poles)1.5(4)1.5(4)2.2(4)3.7(4)
Voltage *450
Hz
200~240 / 380~415
60
Hz
200~240 / 380~460
OilULVOIL R-7
Oil capacity L1.0~2.52.5~4.0
Cooling methodAir cooled
InletVG40 equivalency / KF40 (optional)VG50 equivalency / KF50 (optional)
OutletVG40 equivalency / KF40 (optional)
Weight kg586090113
External dimensions W×D×H mm210×660×324210×680×324280×761×371280×831×371
Applicable standardCE
Standard accessoryA dose of oil, a set of manual
Recommended oil mist trap (Optional) *5TM201: for low load operation
TM401: for high load operation
TM401: for low load operation
TM-2: for high load operation
OptionsOil mist trap, other oil types, gas ballast valve, ISO flange, explosion-resistant motor, special type for special application (spec A, B and H)

* 1 Được đo bằng máy đo Pirani. (Apprx. 6.7X10-2Pa khi được đo bằng máy đo chân không McLeod.)

* 2 VD90C không được phép hoạt động liên tục ở áp suất đầu vào 1.000Pa trở lên. Dung sai hơi nước tối đa VD90C/công suất hơi nước tối đa (trong hoạt động liên tục): 1000Pa/600g/h

* 3 Động cơ chống cháy nổ tăng độ an toàn và động cơ chống cháy nổ bằng áp suất có sẵn dưới dạng tùy chọn.

* 4 Thiết lập giao hàng tại nhà máy là kết nối delta 200V. Vui lòng thay đổi nó thành kết nối Y nếu điện áp làm việc là 400V.

* 5 Hoạt động tải cao có nghĩa là bơm lặp lại giữa áp suất khí quyển và chân không trong thời gian ngắn hoặc dài hoạt động ở 10.000 Pa (75 Torr) hoặc cao hơn.