ULVAC

BƠM KHUẾCH TÁN DẦU DÒNG ULK

Máy bơm khuếch tán dầu dòng ULK là một máy bơm chân không cao, nhỏ gọn được thiết kế với áp suất hồi tới hạn cao. Nó được sử dụng trong một loạt các ứng dụng, từ nghiên cứu đến dây chuyền sản xuất.

Đặc điểm

  • Được thiết kế cho áp suất hồi quan trọng
  • Hiệu suất cực kỳ ổn định ở áp suất xuống đến 10-2 Pa (10-4 torr)
  • Sử dụng mặt bích ống (ngoại trừ mặt bích thông hơi trên ULK-04A và 06A)
  • Bơm có thể được làm sạch dễ dàng (các bộ phận có thể được tháo rời dễ dàng).
  • Đi kèm với cơ chế dừng dòng chất lỏng vận hành đến máy bơm phụ.

specifications

ModelULK-04AULK-06AULK-10AULK-14A
Pumping speed(L/sec)550500120011003400300054004900
Ultimate pressure(Pa)*1<2.6×10-5<2.6×10-6<2.6×10-5<2.6×10-6<2.6×10-5<2.6×10-6<2.6×10-5<2.6×10-6
Maxium forepressure(Pa)4060406035403030
Heating up time(min)98.516.51520202525
Oil*4ULVOIL D-11ULVOIL D-31ULVOIL D-11ULVOIL D-31ULVOIL D-11ULVOIL D-31ULVOIL D-11ULVOIL D-31
Oil capacity(L)0.150.350.81.5
Cooling water temperature(℃)19℃~25℃
Water connectionsRc 1/4″Rc 1/4″Rc 3/8″Rc 3/8″
Water capacity(L/min)1111.52.532.53.5
Voltage200V/1Φ
Pump power(kW)0.550.730.91.222.42.252.4
Heater typePlatePlatePlatePlate
Standard backing pump*2VD151/VD201
PVD-180/PVD-360
VD30C/VD40C/VD60CVD90C
VS1501
PKS-016/PKS-030
VS1501/VS2401/PKS-030
Dimensions*3(mm)A175250340340
B150180240240
H344449650670
InletVG100VG150VG250VG350
OutletVG25VG40VG80VG80
Weight(kg)7.513.54756
Oil level gageWithoutWithoutSlight glassSlight glass
Themal switch optionWithWithWithWith
Themal switch operating temperature(℃)250250180180

* 1 Áp suất cuối cùng được đo bằng máy đo ion hóa trong trường hợp nhiệt độ nước làm mát 20 độ Ceisius. 

* 2 Máy bơm hỗ trợ chọn được chọn cho thông lượng tối đa của máy bơm đẩy khuếch tán, nhưng, nếu xét đến thời điểm áp suất bắt đầu, thì tốt hơn nên sử dụng máy bơm đệm lớn. 

* 3 Vui lòng xác nhận các kích thước khác bằng cách đặt dữ liệu CAD trong ULVAC, Inc.website. 

* 4 D-11 là dầu đa dụng gốc hydrocacbon.D-31 là dầu bơm khuếch tán dựa trên silicon có độ ổn định chịu nhiệt cao.