ULVAC Vietnam Representative Office
듀얼 캐소드용 바이폴라 전원 공급 장치 MFU-20K
MFU 시리즈 듀얼 캐소드용 바이폴라 전원 장치는 ULVAC DC 전원 공급 장치(DPG 시리즈)에 추가하여 DC 출력을 바이폴라 펄스 출력으로 변환하는 장치입니다. 저비용으로 생산 수율 및 처리량 향상에 기여합니다.
특징
- 넓은 주파수 범위
- 10kHz ~ 100kHz의 넓은 주파수 범위에서 운전할 수 있습니다. ※1
- 마스터/슬레이브 연결을 통한 대용량 운전
- 최대 6대의 MFU-20K를 병렬 운전하여 더 높은 출력 용량을 구현할 수 있습니다.
- DC 출력 직접 인가 가능
- 입력 DC 전원 공급 장치의 출력을 캐소드에 직접 인가할 수 있습니다. ※2
응용 분야
- FPD용 반응성 스퍼터링 장비
- 산업용 코팅용 반응성 스퍼터링 장비
- 컬러 TFT용 반응성 스퍼터링 장비
- 모든 스퍼터링 장비
사양
| Model | MFU-20K | |
| Control power input | Rated input voltage | AC100V/AC240V |
| Input voltage fluctuation range | AC90 to 264V | |
| Phase, frequency | 1 phase 50/60Hz | |
| Input capacity | 400VA | |
| Input Specification | Operatig voltage | 0 to -1000V※1 |
| Non load voltage | -1200V | |
| Operatig current | 50A | |
| Output Specification | Maximum rated voltage | 1000V（RMS）※1 |
| Non load voltage | DC-1200V | |
| Maximum Rated current | 50A | |
| Oscillating frequency | 10k to 100kHz※2 | |
| Duty cycle | 10 to 90％※3 | |
| Cooling method | Forced air-cooling | |
| Dimension（W×D×H） | 483mm×630mm×177mm（excluding protrusions） | |
| Weight | 37kg | |
| Applicable standard | CE/SEMI F47/RoHS | |
- 주변 작동 온도: 5℃ ~ 40℃ (결로가 발생하지 않는 조건)
- 작동 환경: 직사광선, 열, 먼지 및 진동을 피하고, 부식성 가스가 없는 환경에서 사용하십시오.
- ※1: 800V를 초과하는 전압에서는 주파수에 제한이 있습니다.
- ※2: 60kHz를 초과하는 주파수에서는 출력에 제한이 있습니다.
- ※3: 듀티 사이클은 발진 주파수에 따라 제한될 수 있습니다.
