터보 분자 펌프 유지보수

터보 분자 펌프(TMP)는 현대적인 생산 라인에서 초고진공 환경을 형성하는 핵심 장비입니다. 운전 중 기동 시간이 길어지거나, 장비가 과열되거나, 진동이 발생하거나, 평소와 다른 소음이 들리거나, 이상한 냄새 또는 전원부의 그을음 흔적이 나타나는 경우 심각한 이상 징후일 수 있습니다. 이러한 현상은 펌프 내부 부품이나 전원 공급 장치의 손상 또는 오염물 축적으로 인한 펌프 내부의 침전물 형성을 나타낼 수 있습니다.

정기적인 오버홀 및 유지보수를 실시하지 않으면 다음과 같은 심각한 위험이 발생할 수 있습니다.

• 제품 손상: 운전 중 펌프가 고착되면 생산 라인에서 제조 중인 제품 전체가 손상될 수 있습니다.

• 생산 중단: 펌프에 갑작스러운 고장이 발생하면 전체 생산 라인이 예기치 않게 중단될 수 있습니다.

• 관련 시스템 손상: TMP의 고장은 진공 챔버 또는 연결 장비 등 다른 시스템의 기능에도 영향을 미치거나 손상을 초래할 수 있습니다.

• 비용 낭비: 심각한 고장으로 고가의 부품을 다수 교체해야 할 경우 수리 비용이 급격히 증가할 수 있습니다.

제조사 권장 유지보수 주기

• TMP 오버홀 주기: 2년마다 실시합니다. 단, CVD 또는 에처(Etcher) 시스템과 같이 사용 조건에 따라 2년이 경과하기 전에도 오버홀이 필요할 수 있습니다.

• 전원 공급 장치 오버홀 주기: 5년마다 실시합니다.

• TMP 공랭식 냉각 팬 및 전원 공급 장치 오버홀: 운전 시간 30,000시간마다 실시합니다.