ULVAC Vietnam Representative Office
건식 부스터 진공 펌프 MODEL MBS-053
케이싱 내부에서 두 개의 클로(Claw) 형태 로터가 서로 반대 방향으로 동기 회전하여 진공을 생성하는 진공 펌프입니다.
특징
소형 루츠형 진공 펌프입니다. 보조 펌프의 배기 속도가 감소하는 압력 영역에서 배기 속도를 크게 향상시킬 수 있습니다.
- 브러시리스 DC 모터를 사용하여 부하에 따라 최적의 회전 속도로 운전할 수 있으므로 대기압에서부터 진공 배기가 가능합니다.
- 자기 커플링 구조를 적용하여 펌프 외부로 오일이 누출되지 않습니다.
- 펌프 내부의 씰에는 비접촉식 씰을 사용하여 기계적 손실을 크게 줄였습니다. (기존 모델 대비 소비 전력이 약 60% 감소)
- 컨트롤 박스 내부의 전원 전환을 통해 100V 및 200V 전원 시스템에서 모두 사용할 수 있습니다.
응용 분야
- 화학, 과학 실험, 분석 장비 및 레이저 시스템
- 전자 현미경용 보조 펌프
- 반도체 장비, 스퍼터링 장비, 진공 증착 장비
- 진공 건조기, 동결 건조기
사양
※ 1: 배기 속도는 보조 펌프의 배기 속도에 따라 달라집니다.
※ 2: 이온화 진공 게이지를 사용하여 측정했습니다. 최종 압력은 보조 펌프의 최종 압력에 따라 달라집니다.
※ 3: 전원 플러그 및 전원 코드가 포함되어 있지 않습니다.
인증 대응 / 전압
| Model | Applicable standard※ | ＣＥ Declartion of confirmity | 1Φ 100～120V | 1Φ 200～240V | 3Φ 200～240V | 3Φ 380～460V |
| MBS-053 | TUV | ● | ● | ● | － | － |
- ： 표준 、 ○ ： 옵션 、 – ： 해당 없음
인증 ※ cTUV: 캐나다의 기준을 준수하는 고품질 제품으로, 국제 제3기관의 제품 안전 시험 및 인증 평가를 받은 제품입니다.
주의사항
| 1 | 기계식 진공 부스터 펌프는 단독으로 사용할 수 없으며, 반드시 보조 진공 펌프(Fore Pump)와 함께 사용해야 합니다. | |||||||||||
| 2 | 기계식 부스터 펌프는 인라인 설치를 전제로 설계되었습니다. 출구 측 플랜지를 고정하고 해당 플랜지에 펌프를 설치하십시오. | |||||||||||
| 3 | 초기 운전 및 장시간 정지 후 기동 시 오일이 기포를 발생시킬 수 있으므로, 백킹 진공 펌프를 사용하여 가스 밸러스트를 실시하고 탈기하십시오. | |||||||||||
| 4 | 대기압에 가까운 영역에서 운전할 경우 배기 속도가 백킹 진공 펌프와 같은 수준이 되므로 부스터의 성능이 발휘되지 않습니다. | |||||||||||
| 5 | 펌프 오일이 규정량을 초과하면 오일이 로터 내부로 유입될 수 있습니다. | |||||||||||
| 6 | 반드시 전원 전압이 펌프의 설정 전압과 일치하는지 확인하십시오. | |||||||||||
| 7 | 펌프 설치용 베이스는 포함되어 있지 않습니다. 플랜지를 고정하여 설치하는 방식입니다. | |||||||||||
| 8 | 펌프 운반용 손잡이는 포함되어 있지 않습니다. | |||||||||||
| 9 | 전원 케이블 및 플러그 빠짐 방지 하드웨어는 옵션 부품입니다. | |||||||||||
외형 치수도
압축비
배기 속도 곡선 (EX)
옵션 부품
Item | Model | Remarks |
Power cable | With 100-120V plug | Unplug preventive hardware |
Power cable | 100-120V without plug | Unplug preventive hardware |
Power cable | 200-240V with plug | Unplug preventive hardware |
Power cable | 200-240V without plug | Unplug preventive hardware |
Unplug preventive hardware | 100-120V | Single item |
Unplug preventive hardware | 200-240V | Single item |
Electric voltage change connector | 100-120V （Red） | for 100V range, standard accessories ※ |
Electric voltage change connector | 200-240V （Blue） | for 200V range, standard accessories ※ |
Vacuum pump oil | SMR-200 | 70mL, standard accessories |
※ 전압 변경용 커넥터는 펌프 구매 시 지정해야 합니다.
