ULVAC Vietnam Representative Office
QULEE 및 YTP 가스 분자 모니터
QULEE의 파생 모델로, 고객의 요구에 대응하기 위해 새로운 기능을 추가했습니다. 차압 펌프 유닛을 추가하여 공정 관리를 위한 측정 및 분석은 물론, 잔류 가스 분석 기능을 제공합니다.
특징
뛰어난 비용 효율성
옵션으로 차압 펌프 유닛을 추가하여 가스 분석 기능을 제공합니다.
컴팩트한 설계
YTP 표준 진공 유닛을 데스크톱 타입으로 적용했습니다.
통합형 디스플레이 유닛 설계
PC 없이도 직관적인 데이터를 확인할 수 있습니다.
간편한 조작
복잡한 절차 없이 원클릭 기능으로 간편하게 조작할 수 있습니다.
대기압 분석
최대 측정 압력을 3,000 Pa, 500 Pa, 100 Pa, 10 Pa 및 1 Pa 중에서 선택할 수 있습니다.
(22.5 Torr, 3.75 Torr, 0.75 Torr, 7.5×10⁻² Torr 및 7.5×10⁻³ Torr / 30 mbar, 5 mbar, 1 mbar, 0.1 mbar 및 1.0×10⁻² mbar)
용도에 따른 모델 선택
질량수 1~100(BGM2-101/102), 1~200(BGM2-201/202), 1~300(HGM2-302) 중에서 용도에 맞는 모델을 선택할 수 있습니다.
저소음
최대 압력 조건에서 43 dB(A) 이하입니다.
압력 표시 기능
2개의 진공 게이지를 쉽게 통합할 수 있도록 설계되었습니다.
종합 누설 검사 기능
헬륨 누설 검사, 공기 누설 검사 및 누설 검사를 지원합니다.
QULEE QCS Ver.4 (Ethernet 호환)
Windows 7/8/10용 소프트웨어가 제공됩니다.
적용 분야
- R&D를 위한 다양한 가스 분석
- 공정 중 PVD 시스템의 가스 모니터링 및 PVD 시스템의 잔류 가스 분석
- 고진공 배기 장비 등의 잔류 가스 분석
사양
Qulee main body | Select from BGM2-101 / 102 / 201 / 202, HGM2-302 | |||
Software Qulee QCS Ver.4.0(Windows 7 / 8 / 10) | ||||
Max sampling pressure | Select from atmospheric pressure 3000Pa / 500Pa / 100Pa / 10Pa / 1Pa | |||
Select from atmospheric pressure 22.5Torr / 3.75Torr / 0.75Torr / 7.5×10-2Torr / 7.5×10-3Torr | ||||
Select from atmospheric pressure 30mbar / 5mbar / 1mbar / 0.1mbar / 1.0×10-2mbar | ||||
＊Atmospheric pressure type can be used only under the atomospheric condition | ||||
Specification pressure | Vacuum type | Gas introduction type | Manual bellows valve (2 systems: orifice line / direct line) | |
Variable leak valve type | Sampling pressure | Power-supply voltage | AC100-240V | |
Atmospheric pressure type (Atmospheric pressure sampling unit) | Capillary type (100,000Pa type) | Dry pump(Sweep) | ６L/min, Ultimate pressure/6700Pa | |
Controller unit | Temperature contol and On/Off control of cartridge heater, On/Off control of sweep pump | |||
Capillary tube unit | Manual bellows valve (1 line), Cartridge heater, insulation mat, Capillary tube (already mounted), Joint fitting 1/4 ”Swagelok | |||
Power-supply voltage | Select for AC100V/220V | |||
Pump unit desktop YTP | Desktop YTP | Turbo molecular pump | 70L/s (N2) | |
Dry pump(Roughing) | 19L/min(Diaphragm pump) | |||
Power-supply voltage | AC100-240V | |||
Accessories | AC100V power cord(*1), Base stage for DesktopYTP(*2), AC adapter for Qulee, LAN cable(3m) for Qulee, Software installation disc, Bolt set for fixing flange, Gasket (UFC114G,UFC070G), Power strip(*3), Casters(*4), Various fixing screws | |||
Options | Ionization gauge package(SH2-1,Sensor head cable 2m, Cross tube, Bolts,Gaskets), USB-LAN adapter, Switching hub(8 ports or 16 ports)(*5),Floor cart(*6) | |||
QULEE 및 YTP 가스 분자 모니터 사양표 주의사항
＊1 해외 또는 AC100V 이외의 전압을 사용하는 지역에서 장비를 사용할 경우에는 해당 전압에 맞는 전원 코드를 사용해 주십시오. 원자압 샘플러, YTP 데스크톱 타입 및 QULEE용 AC 어댑터에 각각 1개씩, 총 3개의 전원 코드가 필요합니다.
＊2 YTP 데스크톱 타입 설치 시에는 반드시 받침대를 사용해 주십시오. 대기압 타입은 컨트롤러를 장착할 수 있도록 2단 구조로 되어 있습니다.
＊3 전원 콘센트는 대기압 타입/AC100V 사양만 제공됩니다.
＊4 바퀴는 대기압 타입에만 제공됩니다. 바퀴는 사용자가 직접 장착해 주십시오.
＊5 옵션인 스위칭 허브를 사용하는 경우 AC 어댑터가 필요합니다.
＊6 바닥용 카트는 사용자가 직접 설치해 주십시오.
＊7 YTP 데스크톱 타입, QULEE 본체, 가스 주입구 및 기타 부품은 별도로 포장됩니다. 설치 방법은 조립 설명서를 참조해 주십시오.
