ULVAC Vietnam Representative Office
UTM300B 모델 터보 분자 펌프
UTM-B는 세라믹 베어링을 적용한 터보 분자 펌프로, 뛰어난 압축비를 제공합니다. 컨트롤러 일체형 설계를 적용하여 컴팩트한 구조를 실현했습니다. 또한 높은 배압 성능을 통해 더 작은 보조 펌프를 사용할 수 있습니다.
특징
- 설치 방향에 제한이 없음: 설치 방향을 자유롭게 선택할 수 있어 시스템 설계의 자유도가 높습니다.
- 내장형 컨트롤러: 펌프 본체에 컨트롤러를 통합하여 배선 작업을 줄이고 펌프 시스템의 크기를 최소화할 수 있습니다.
- 높은 압축비 및 높은 배압 성능: 높은 압축비를 통해 펌프가 높은 배압 조건에서도 작동할 수 있으며, 보조 펌프의 크기를 줄일 수 있습니다.
- 3가지 입구 플랜지 옵션: ISO100-K, ICF152 및 VG100 중에서 선택할 수 있습니다.
- 청정한 진공 환경: 펌프의 운전 중 및 정지 시 탄화수소의 역류를 최소화합니다.
- 저소음 설계: 무부하 운전 시 소음이 50 dB 이하입니다(ISO-100K 플랜지 기준).
- 적용 규격: CE 및 NRTL 인증 기준을 적용합니다.
적용 분야
- 분석 장비, R&D 시스템, 실험 장비 등의 메인 진공 펌프 시스템
- 증발 장비 및 스퍼터링 시스템 등의 메인 진공 펌프 시스템
- H₂, He와 같은 저분자량 가스 배기용 메인 진공 펌프 시스템
사양
Model | UTM300B | |||
| Cooling method | Natural air cooling | Forced air cooling（fan） | ||
| Inlet Flange *1 | VG100, ICF152, ISO100-K | |||
| Outlet Flange | KF16 | |||
| Pumping speed (without a protection screen) | N2 | 280 L/s | ||
He | 270 L/s | |||
H2 | 220 L/s | |||
| Ultimate pressure (With 2stage back pump) | After baking | *2 | 10-8Pa | |
Before baking | 10-6Pa | 10-6Pa | ||
| Max. compression rate | N2 : >1×109, He : 7×106, H2 : 1×105 | |||
| Max. pressure at inlet of N2 *3, *4, *5 | N2 | 0.06Pa | 0.7Pa | |
| Max. pressure at outlet of N2 *3, *4, *6 | N2 | 100Pa | 1000Pa | |
| Continuous running maximum flow *7 when 120L/m backing pump is used | Without gas purge | N2 | 10sccm | 100sccm |
Without gas purge | Ar | – | 30sccm | |
With gas purge | – | 40sccm | ||
| Recommend backing pump (when evacuating 10SCCM) *8 | >120L/min | |||
| Weight | VG, ISO / ICF | 6kg / 9kg | 6.3kg / 9.3kg | |
| Rotation speed | 60000rpm | |||
| Start-up time (Up to 80) (DC24V. Back pressure: 5Pa or less). | 3.5 min | |||
| Surface treatment *9 | None | |||
| Mounting direction | All direction | |||
| Noise *10 | <50dB（A） | |||
| Standard accessories | Each of instruction Manua (l English and Japanese), protection screen (for VG and ICF. Cap of ISO Flange is built into the gasket), gasket (for Inlet), dust cap (or Inlet, outlet and connector). | |||
UTM-B 터보 분자 펌프 사양표 주의사항
1 입구 플랜지는 주문 시 VG100, ICF152 및 ISO100-K 중에서 선택할 수 있습니다.
2 가열 기능은 ICF 플랜지 및 강제 공랭식 모델에만 적용됩니다.
3 주변 온도 **25 ℃**에서의 값입니다. 주변 온도가 변하면 허용값도 달라질 수 있습니다.
4 최대 배기구 압력과 최대 입구 압력은 동시에 만족할 수 없습니다.
5 펌프가 연속 운전할 수 있는 최대 입구 압력입니다.
6 입구에서 유입되는 가스 유량이 0 mL/min일 때 펌프가 연속 운전할 수 있는 최대 배기구 압력입니다.
7 주변 온도 5~25 ℃ 조건에서의 값입니다. 또한 퍼지 가스로 N₂를 사용하고, 유량은 **0.4 mbar·L/s (25 sccm)**로 설정해야 합니다.
8 가스 유량이 증가하더라도 배기구 압력이 최대 배기구 압력 이하로 유지되도록 적절한 보조 펌프를 선정해야 합니다.
9 반응성 가스, 부식성 가스 및 갈륨(Ga)이 포함된 가스는 사용하지 마십시오. 기타 가스를 사용하는 경우 당사에 문의해 주십시오.
10 본 값은 ISO 플랜지 모델에 대해 ULVAC 기준으로 측정된 값입니다.
