YTP 시리즈 B형은 세라믹 베어링을 적용한 터보 분자 펌프를 탑재한 고진공 배기 시스템으로, 대기압에서 고진공 영역까지 진공 배기가 가능합니다. ULVAC에서는 START/STOP 스위치를 사용하여 자동으로 배기할 수 있는 SA형과 수동으로 작동하는 M형의 두 가지 타입을 제공합니다. 또한 보조 펌프는 표준 사양으로 오일 로터리 펌프를 선택할 수 있으며, 옵션으로 드라이 스크롤 펌프를 선택할 수 있습니다.
특징
용도에 따라 다양한 모델 선택 가능
보조 펌프는 표준 사양으로 오일 로터리 펌프를 선택할 수 있으며, 다른 옵션으로 드라이 스크롤 펌프를 선택할 수 있습니다.
우수한 정전 대응 기능 적용
정전 시 역류 및 이상 발생을 방지하기 위해 전자 밸브가 표준 사양으로 프론트 밸브에 장착되어 있습니다.
초기 배기 과정의 압력 확인 가능
Pirani 진공 게이지가 표준 사양으로 장착되어 있어 초기 배기 과정에서 압력을 확인할 수 있습니다.