油雾捕集器

• • 去除油滴（“烟雾”）
    大幅减少泵油蒸气，从而降低污染，同时也大幅减少了定期补充泵油的需求。
  • 在泵从大气压启动、低真空抽气以及气镇操作时，噪音被最有效地降低。特别是低频噪音得到了显著抑制。
  • 可选择的回油方式（选配）
    当捕集的油直接回流至主泵并再次使用时，滤芯寿命会缩短，泵可能出现问题。
    由于回油效果依赖于泵的运行状况，请咨询 ULVAC 以获得适合您具体抽气工况的建议，并确保正确匹配使用部件。
  • 由于 TM 系列装置的连接口与标准泵排气口匹配，安装非常简便。（不包括 VD601 和 VD901）
  • 内部滤芯为可更换的 cartridge 型
    更换滤芯非常简单。（旧型号 TM-3、4 和 4S 改为 cartridge 滤芯时需使用适配器）

*1 请务必使用与泵的抽气速度和被抽真空腔体体积相匹配的油雾捕集器。
*2 连接至 PVD 系列、VD151 和 VD201 时需要使用适配器。
*3 TMX-1 和 TMX-2 型号不能使用回油功能。
*4 TMX-1、TMX-2 和 TM-2（旧型号）机型无法转换为 cartridge 滤芯。