油扩散泵 ULK 系列
ULK 系列油扩散泵是一种紧凑型高真空泵，设计具有高临界背压。它广泛应用于从研究到生产线的各种场合。
特点
专为高临界背压而设计
在低至 10⁻² Pa（10⁻⁴ torr）的压力下仍具有极高的稳定性能
使用软管法兰（ULK-04A 和 06A 的排气法兰除外）
泵易于清洗（部件可轻松拆卸）
配备防止工作液流向辅助泵的机构
技术参数 油扩散泵 ULK 系列
| 型号 | ULK-04A | ULK-06A | ULK-10A | ULK-14A | |||||
| 抽速(L/sec) | 550 | 500 | 1200 | 1100 | 3400 | 3000 | 5400 | 4900 | |
| 极限压力(Pa)*1 | ＜2.6×10-5 | ＜2.6×10-6 | ＜2.6×10-5 | ＜2.6×10-6 | ＜2.6×10-5 | ＜2.6×10-6 | ＜2.6×10-5 | ＜2.6×10-6 | |
| 最大前级压力(Pa) | 40 | 60 | 40 | 60 | 35 | 40 | 30 | 30 | |
| 升温时间（分钟） | 9 | 8.5 | 16.5 | 15 | 20 | 20 | 25 | 25 | |
| 油*4 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 | |
| 油容量(L) | 0.15 | 0.35 | 0.8 | 1.5 | |||||
| 冷却水温度(℃) | 19℃～25℃ | ||||||||
| 水连接 | Rc 1/4″ | Rc 1/4″ | Rc 3/8″ | Rc 3/8″ | |||||
| 水用量 (L／min) | 1 | 1 | 1 | 1.5 | 2.5 | 3 | 2.5 | 3.5 | |
| 电压 | 200V/1Φ | ||||||||
| 泵功率(kW) | 0.55 | 0.73 | 0.9 | 1.2 | 2 | 2.4 | 2.25 | 2.4 | |
| 加热器类型 | 板 | 板 | 板 | 板 | |||||
| 标准前级泵 *2 | VD151/VD201 PVD-180/PVD-360 | VD30C/VD40C/VD60C | VD90C VS1501 PKS-016/PKS-030 | VS1501/VS2401/PKS-030 | |||||
| 尺寸*3(mm) | A | 175 | 250 | 340 | 340 | ||||
| B | 150 | 180 | 240 | 240 | |||||
| H | 344 | 449 | 650 | 670 | |||||
| 入口 | VG100 | VG150 | VG250 | VG350 | |||||
| 出口 | VG25 | VG40 | VG80 | VG80 | |||||
| 重量(kg) | 7.5 | 13.5 | 47 | 56 | |||||
| 油位计 | 无 | 无 | 视窗玻璃 | 视窗玻璃 | |||||
| 热开关选项 | 有 | 有 | 有 | 有 | |||||
| 热开关动作温度 (℃) | 250 | 250 | 180 | 180 | |||||
*1 在冷却液温度为 20℃ 时，由电离规测得的极限压力。
*2 前级泵应根据扩散喷射泵的最大抽速来选择，但考虑到启动压力的时间，最好使用较大的前级泵。
*3 其他尺寸请在 ULVAC 公司网站提供的 CAD 数据中确认。
*4 D-11 是以碳氢化合物为基础的通用油；D-31 是以硅为基础的扩散泵油，具有较高的耐热稳定性。
除了经销 ULVAC 真空泵系列之外，ULVAC 工程师还在越南现场执行这些真空泵的维护与维修，24 小时随时支持设备停机的故障排查。若您需要任何咨询，请致电热线：0988 248 567（Ngoc 先生）或 0936 155 1138（Hao 女士）。
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