皮拉尼真空计 SW1 系列
这是一种宽范围皮拉尼真空计，可从大气压测量到 5×10⁻² Pa。 此外，该真空计去除了传统控制器中的控制和显示面板，仅保留必要功能，从而节省成本和空间。
特点
- 测量范围：从大气压到 5×10⁻² Pa。
- 传感器与控制器一体化，减少电缆，节省空间与能耗。
- 工作电源：DC 24V 输入。
- 压力输出：0～10V 对数输出。
- LED 错误指示，显示更清晰。
- 可一键进行大气压和零点调整。
- 传感单元可轻松更换。
- 2 个设定点输出（SW1-1）。
- RS232C/RS485 通讯（仅限 SW1-2）。
- 符合 CE 标准。
应用
- 用于低真空工艺控制，例如半导体、光学和电子零部件制造系统。
- 用于低真空范围的工业设备工艺控制，例如真空炉等。
- 用于低真空系统的工艺控制，该系统需要多个工艺腔体，例如在线溅射和单晶圆处理设备。
技术参数
| 型号 | SW1-1 | SW1-2 |
| 可连接传感头 | 1 pc | |
| 兼容传感头 | SWP-16（NW16）, SWP-25（NW25), SWP-R1/8（R1/8）, SWP-P18（φ18）, SWP-P15（φ15）, SWP-CF16（ICF034）, SWP-1S（ASME BPE 卫生 1″） | |
| 可测压力范围 | 5.0×10-2 ~ 1.0×10+5 Pa（Pa（表示範囲：1.0×10-2 ~ 1.2×10+5Pa） | |
| 精度* | 1×10-1 Pa ~ 1×10+4 Pa ： ±10% | |
| 5.0×10-2 ~ 1.0×10-1 Pa, 1×10+4 Pa ~ 1×10+5 Pa : ±20% | ||
| 重复性 | 1×10-1 Pa ~ 1×10+4 Pa : ±2% | |
| 采样时间 | 50ms 5回の移動平均処理 | |
| 数值输出 | 输出电压 DC 0 ~ 10V | |
| 压力指示（对数刻度） 1.7V ~ 8.0V 1V/十年 | ||
| ( 更新周期) 50ms | ||
| 控制输入信号 | 开集电极输入，负逻辑 | – |
| ADJ 调整（零点、大气压调整） | – | |
| 控制输出信号 | 开集电极输出，负逻辑【额定：30V 最大，50mA 最大，70mW】 | – |
| 错误信号 | – | |
| 设定点 1, 2 | – | |
| 设定点监视器 | 设定点 1, 2: 0 ~ 10V 对数输出 | – |
| 串行通信类型 | – | RS232C/RS485 |
| LED 显示 | 电源/错误: 电源错误 LED | |
| SET-1: 设定点 1LED | – | |
| SET-2: 设定点 2LED | – | |
| 灯丝材质 | Pt | |
| 使用温度范围 | 10 ~ 40℃ | |
| 使用湿度范围 | 15 ~ 80% （无结露） | |
| 防护等级 | IP30 （传感器单元） | |
| 安装位置 | 自由 | |
| 电源电压 | DC18V ~ 30V, 2W (电源输入时 4.8W) | |
| 输入/输出连接器 | D-sub 15-pin （M2.6mm 螺钉）– 传感器单元 | |
| 重量 | 150g (带 SWP-16) | |
| 外形尺寸（电源）W×D×H | 70mm×46mm×28mm | |
| 标准附件 | 快速手册 | |
| 选配件 | 输入/输出连接器采用 D-sub 15 孔（M2.6mm 螺钉）；提供检验结果数据表、通用校准测试报告以及 JCSS 校准证书。 | |
| 适用标准 | CE | |
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