QULEE 搭配 YTP-H 系列
Qulee 的一种变型，增加了新功能以满足客户需求。 通过增加差动抽气单元，Qulee 提供了工艺管理和残余气体分析的测量与分析能力。
特点
- 卓越的性价比
可选配差动抽气单元以实现气体分析 - 紧凑的设计
采用标准真空单元台式 YTP 型号 - 集成显示单元设计
无需电脑即可提供可视化数据 - 操作简便
一键功能，轻松操作，无需复杂流程 - 大气压分析
可选择的最大可测压力：3000Pa、500Pa、100Pa、10Pa 和 1Pa
（22.5Torr、3.75Torr、0.75Torr、7.5×10⁻²Torr 和 7.5×10⁻³Torr / 30mbar、5mbar、1mbar、0.1mbar 和 1.0×10⁻²mbar） - 根据应用选择型号
可选择的质量数范围：1~100（BGM2-101/102）、1~200（BGM2-201/202）、1~300（HGM2-302） - 低噪音
在极限压力下噪音≤43dB(A) - 压力显示
设计为可轻松集成 2 个真空规 - 完整的检漏功能
- 支持氦气检漏、空气检漏、漏率上升试验
- Qulee QCS Ver.4（支持以太网）
附带软件（Windows 7/8/10）
应用 QULEE 搭配 YTP-H 系列
- 用于研发的多种气体分析
- PVD 系统加工过程中的气体监测
PVD 系统中的残余气体分析 - 高真空抽气设备等的残余气体分析
技术参数
Qulee 主机 | 可选择 BGM2-101 / 102 / 201 / 202, HGM2-302 | |||
软件 Qulee QCS Ver.4.0（Windows 7 / 8 / 10） | ||||
最大采样压力 | 可选择的大气压力范围：3000Pa / 500Pa / 100Pa / 10Pa / 1Pa | |||
可选择的大气压力范围：22.5Torr / 3.75Torr / 0.75Torr / 7.5×10⁻²Torr / 7.5×10⁻³Torr | ||||
可选择的大气压力范围：30mbar / 5mbar / 1mbar / 0.1mbar / 1.0×10⁻²mbar | ||||
＊大气压型仅可在大气条件下使用 | ||||
规格压力 | 真空型 | 引气型（3000Pa ～1Pa 型） | 手动波纹管阀（2 系统：孔口管路 / 直通管路） | |
可变泄漏阀型 | 采样压力 | 电源电压 | AC100-240V | |
大气压型（大气压采样单元） | 毛细管型（100,000Pa 型） | 干式泵（扫气） | 6L/min，极限压力 / 6700Pa | |
控制单元 | 温度控制及筒式加热器的开/关控制，扫气泵的开/关控制 | |||
毛细管单元 | 手动波纹管阀（1 条管路）、筒式加热器、隔热垫、毛细管（已安装）、1/4” Swagelok 接头 | |||
电源电压 | 可选择 AC100V/220V | |||
泵单元 台式 YTP | 台式 YTP (YTP70A-D) | 涡轮分子泵 | 70L/s (N2) | |
干式泵（粗抽） | 19L/min(隔膜泵) | |||
电源电压 | AC100-240V | |||
附件 | AC100V 电源线(*1)、台式 YTP 底座(*2)、Qulee AC 适配器、Qulee LAN 电缆(3m)、软件安装光盘、法兰固定螺栓套件、垫圈(UFC114G, UFC070G)、插线板(*3)、脚轮(*4)、各种固定螺丝 | |||
选配件 | 电离规套件（SH2-1，传感头电缆 2m，十字管，螺栓，垫圈）、USB-LAN 适配器、交换机（8 端口或 16 端口）(*5)、移动推车(*6) | |||
注释 QULEE 搭配 YTP-H 系列:
＊1 在国外或电压不同于 AC100V 的地区使用本设备时，请使用电源线。大气压采样单元、台式 YTP 和 Qulee 的 AC 适配器需要三条电源线。
＊2 安装台式 YTP 时请务必使用底座。对于大气压型，它采用两级结构，以便可以连接控制单元。
＊3 插线板仅随大气压 / AC100V 型提供。
＊4 脚轮仅随大气压型提供，请自行安装脚轮。
＊5 可选交换机需要配备 AC 适配器。
＊6 移动推车请自行组装。
＊7 台式 YTP、Qulee 主机、进气口和其他部件将分别包装，请参照组装手册进行安装。
除了经销 ULVAC 真空泵系列之外，ULVAC 工程师还在越南现场执行这些真空泵的维护与维修，24 小时随时支持设备停机的故障排查。若您需要任何咨询，请致电热线：0988 248 567（Ngoc 先生）或 0936 151 138（Hao 女士）。
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