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Vacuum Valves MODEL VLH-SB

VAN CHÂN KHÔNG GÓC 10_vlh_sb025jh_b
ULVAC 的真空阀门是基于在真空领域丰富的技术和经验开发的。 我们提供多种产品,可满足从大气压到超高真空的各种需求。

技术参数

型号VLH-SB
阀板最大允许压差(正压/反压)MPa0.10
开启方向最大允许压差(正压/反压) MPa0.10
阀板密封O 型圈
传动密封波纹管
 驱动方式手动
外漏率*1 Pa・m3/s≦1.0E-10
内漏率*1 Pa・m3/s≦1.0E-10
工作压力范围(绝对压力) Pa大气压~ 1.0E-6
烘烤温度(停止时)*2 ℃阀体 150℃*3,驱动 70℃
环境使用温度 ℃5~70
流体温度 ℃5~70
升降温速度 ℃/h≦30
使用环境非腐蚀性
流体非腐蚀性
气缸压缩空气MPaG
保证操作寿命*410,000
安装方向无限制
位置指示器
主要部件材料(真空侧)不锈钢 304
主要部件材料(大气侧)不锈钢 304,铝 6061(阳极氧化铝)
波纹管材料不锈钢 316L
密封材料(真空侧)FKM
真空侧润滑脂未使用任何润滑脂
 吊装附件无*5
RoHS符合

*1 泄漏率不包括 O 形圈的渗透。在轴封 O 形圈启闭过程中产生的外漏不在规范范围内。
*2 烘烤过程中请勿开闭阀门。
*3 关于 VLP-MB 和 VLH-MB,阀体在开启状态下的最高烘烤温度为 200℃ (392℉),在关闭状态下为 150℃ (302℉)。
*4 详情请参阅使用说明书。
*5 VLP-SA350JH 随机附带吊装件(M12 吊环螺栓 2 个)。