用于光学滤光片和镀膜的溅射系统 ULDiS 系列
ULDiS 系列属于数字式溅射系统，强化了 Meta Mode 技术，实现了高品质的光学滤光片和镀膜。 ULVAC 已与美国 JDS Uniphase Corporation 签署许可协议， 获准在光学领域使用 MetaMode® 溅射技术。 ULDiS 可直接安装于客户现场，并可广泛拓展应用。
特点
- 具备优异光谱特性的滤光片镀膜。
- 工艺温度低。
- 通过双阴极与交流溅射方式防止电弧放电。
- 镀膜厚度可精确再现。
- 可选配置丰富，包括低损伤阴极等。
应用
- 用于数码相机的红外截止滤光片
- 用于投影机的二色滤光片
- 用于 DVD 的反射镀膜
- 其他光学滤光片，包括减反射镀膜
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