电源 MFU 系列
MFU-20K 是一款装置，可与 ULVAC 直流电源（DPG 系列）配合使用，将直流输出转换为双极性脉冲输出。它能够在低成本的情况下提升生产效率和处理量。
特点
- 宽频率范围
可在 10k ～ 100kHz 范围内运行 ※1 - 通过主/从连接实现更大容量
最多可实现 6 台 MFU-20K 并联运行 - 支持直流输出
可以将输入直流电源的输出直接加到阴极 ※2
应用
用于平板显示器的反应溅射设备
用于工业涂层的反应溅射设备
用于彩色 TFT 的反应溅射设备
所有溅射设备
技术参数
| 型号 | MFU-20K | |
| 控制电源输入 | 额定输入电压 | AC100V/AC240V |
| 输入电压波动范围 | AC90 to 264V | |
| 相数、频率 | 1 phase 50/60Hz | |
| 输入容量 | 400VA | |
| 输入规格 | 工作电压 | 0 to -1000V※1 |
| 空载电压 | -1200V | |
| 工作电流 | 50A | |
| 输出规格 | 最大额定电压 | 1000V（RMS）※1 |
| 空载电压 | DC-1200V | |
| 最大额定电流 | 50A | |
| 振荡频率 | 10k ～ 100kHz※2 | |
| 占空比 | 10 ～ 90％※3 | |
| 冷却方式 | 强制风冷 | |
| 尺寸（W×D×H） | 483mm×630mm×177mm（不含凸出部分） | |
| 重量 | 37kg | |
| 适用标准 | CE/SEMI F47/RoHS | |
环境工作温度：5℃～40℃（无结露）
工作环境：避免阳光直射、热源、粉尘、振动，并且无腐蚀性气体。
※1：当电压超过 800V 时，频率会受到限制。
※2：当频率超过 60kHz 时，输出会受到限制。
※3：占空比会因振荡频率而受到限制。
除了经销 ULVAC 电源系列之外，ULVAC 工程师还在越南现场执行这些电源的维护与维修，24 小时随时支持设备停机的故障排查。若您需要任何咨询，请致电热线：0988 248 567（Ngoc 先生）或 0936 155 1138（Hao 女士）。
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