多级罗茨式干式真空泵 GR 系列
基于多年 LR/HR 系列的经验，ULVAC 推出了 GR 系列干式真空泵，其设计简洁清洁，适用于一般工业应用。
特点
- 特别适用于高负荷应用，例如在大气压与真空之间反复抽气，以及在高压范围内的连续运行。
- 适用于需要高抽速的装卸锁腔。
- 采用通用感应电机。防爆电机可作为选配件。
- 关于电机功率，下单时请注明所需电压。可提供 200 VAC 等级或多电压电机。
应用
- 适用于清洁气体的真空抽取，如空气、惰性气体。
- 适用于各种沉积设备的装卸锁腔。
- 适用于一般工业应用，如真空干燥机、真空隔热中的气体交换与充气、真空脱气等。
技术参数
型号 | GR60A | GR90A | GR180A | ||||
| Hz | 50Hz | 60Hz | 50Hz | 60Hz | 50Hz | 60Hz | |
| 最大抽速 | m3/h | 62 | 80 | 112 | 126 | 183 | 237 |
| L/min | 1030 | 1333 | 1860 | 2100 | 3100 | 3950 | |
| cfm | 36.4 | 47.1 | 65.7 | 74.2 | 109.5 | 139.5 | |
| 极限压力 | 5.0Pa *1 | ||||||
| 3.7 x 10-2Torr *1 | |||||||
| 5.0 x 10-2mbar *1 | |||||||
| 最大入口压力 | 大气压力 | ||||||
| 最大排气压力 | 1.0Pa ～ 大气压力 | ||||||
| 7.5 x 10-3Pa～ 大气压力 | |||||||
| 1.0 x 10-2mbar ～ 大气压力 | |||||||
| 入口端口 | VG50 或 ISO63F | 相当于 VG80 或 ISO80F | |||||
| 出口端口 | NW40 | ||||||
| 表面处理 | 标准选项 | ||||||
| 重量 | 128kg | 188kg | 268kg | ||||
| 冷却水 | 供给压力 | 0.1 to 0.3MPa | |||||
| 14.5 to 43.5psi | |||||||
| 进出口压差 | >0.1MPa | ||||||
| >14.5psi | |||||||
| 温度 | 10 to 30oC *2 | ||||||
| 50 to 86℃ | |||||||
| 流量 | >5.0L/m | ||||||
| N2 | 一次侧供给压力 | 0.1 to 0.5MPa | |||||
| 14.5 to 72.5psi | |||||||
二次侧调节压力 *3 | 0.05 to 0.1 (运行时) | ||||||
| 7.3 to 14.5psi | |||||||
轴 | 5SLM *4 | ||||||
*1 极限压力是在氮气（轴封气体）为 5.0 SLM 时的数值。
*2 不可冷凝。
*3 压力表上所示的数值由气体调节器调整。
*4 氮气（轴封气体）的流量固定为 5.0 SLM。
■订购时请从下表中指定电机电压。
可选择 200 伏等级电机或多电压电机。
型号 | GR60A | |||||||||||||||
| 可选电机 | 200V 等级电机 | 多电压电机 | ||||||||||||||
| 频率 | Hz | 50 | 60 | 50 | 60 | 50 | 60 | |||||||||
| 电压 | V | 200 | 200 | 220 | 220 | 240 | 208 | 220 | 240 | 380 | 400 | 415 | 380 | 440 | 460 | |
| 额定电流 | A | 9.2 | 8.8 | 8.1 | 8.1 | 8.1 | 8.5 | 8.1 | 7.4 | 4.8 | 4.8 | 4.7 | 4.6 | 4.3 | 4.1 | |
| 接线 | 三角形接线 | 三角形接线 | 星形接线 | |||||||||||||
| 型号 | GR90A | |||||||||||||||
| 可选电机 | 200V 等级电机 | 多电压电机 | ||||||||||||||
| 频率 | Hz | 50 | 60 | 50 | 60 | 50 | 60 | |||||||||
| 电压 | V | 200 | 200 | 220 | 220 | 240 | 208 | 220 | 240 | 380 | 400 | 415 | 380 | 440 | 460 | |
| 额定电流 | A | 14.2 | 14.1 | 12.8 | 12.8 | 12.7 | 13.4 | 12.8 | 11.8 | 7.5 | 7.4 | 7.3 | 7.3 | 7 | 6.3 | |
| 接线 | 三角形接线 | 三角形接线 | 星形接线 | |||||||||||||
型号 | GR180A | |||||||||||||
| 可选电机 | 本泵可配备常用的多电压电机。 | |||||||||||||
| 频率 | Hz | 50 | 60 | 50 | 60 | |||||||||
| 电压 | V | 200 | 200 | 240 | 200 | 208 | 220 | 240 | 380 | 400 | 415 | 380 | 440 | 460 |
| 额定电流 | A | 26.1 | 25.1 | 25.7 | 26.3 | 24.9 | 23.9 | 22.5 | 14.5 | 14.7 | 14.9 | 13.9 | 13.3 | 12.5 |
| 接线 | 三角形接线 | 星形接线 | ||||||||||||
■消音器（选配件）
| 型号 | 材质 | 表面处理 | 重量 (kg) | 法兰连接 |
| RS-01 | SUS304 | GBB 处理 | 4.1 | NW40 |
| RS-02 | SUS304 | GBB 处理 | 8.3 | NW40 |
■可接受表格
| 套件类型 | 协议 | 夹具 | 外环 | 连接法兰 | 支架 |
| RS-01 kitA | GR60,GR90 | 1 | 1 | – | – |
| RS-01 kitC | GR180A | 2 | 2 | 1 | 1 |
除了销售 ULVAC 干式真空泵系列产品外，ULVAC 工程师还在越南本地提供这些干泵的维护与维修服务，全天候 24 小时支持设备故障排查。
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