真空阀门 型号 VLP-SA
ULVAC 的真空阀门是基于在真空领域积累的深厚技术与丰富经验开发而成。我们提供多种产品，可满足从大气压到超高真空的各种需求。
技术参数
| 型号 | VLP-SA |
| 阀板最大允许压差（正压/反压）MPa | 0.10 |
| 开启方向最大允许压差（正压/反压）MPa | 0.10 |
| 阀板密封 | O 型圈 |
| 传动密封 | O 型圈 |
| 驱动方式 | 双作用气缸 |
| 外漏率*1 Pa・m3/s | ≦1.0E-10 |
| 内漏率*1 Pa・m3/s | ≦1.0E-10 |
| 工作压力范围（绝对压力） Pa | Atm. ～ 1.0E-5 |
| 烘烤温度（停止时）*2 ℃ | 本体 150℃，驱动 70℃（指示器 60℃） |
| 使用环境温度℃ | 5～70 |
| 流体温度 ℃ | 5～70 |
| 加热和冷却速度 ℃/h | ≦30 |
| 使用环境 | 非腐蚀性 |
| 流体 | 非腐蚀性 |
| 气缸压缩空气 MPaG | 0.40 ～ 0.60 |
| 保证操作寿命*4 | 100,000 |
| 安装方向 | 无限制 |
| 位置指示器 | 可选（单独销售） |
| 材料（真空侧） | 不锈钢 304 |
| 材料（大气侧） | 不锈钢 304，铝 6061（阳极氧化） |
| 波纹管材料 | ー |
| 密封材料（真空侧） | FKM |
| 润滑脂（真空侧） | 氟润滑脂 |
| 起吊附件 | 无 *5 |
| RoHS | 符合 |
*1 泄漏率不包括 O 型圈的渗透。在采用 O 型圈轴封穿引的情况下，开启和关闭过程中的外部泄漏不作规定。
*2 烘烤过程中请勿开启或关闭。
*3 对于 VLP-MB 和 VLH-MB，阀体的最高烘烤温度为：开启状态 200℃ (392°F)，关闭状态 150℃ (302°F)。
*4 详情请参阅使用说明书。
*5 VLP-SA350JH 配备提升附件（吊环螺栓 M12 × 2 个）。
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