ULVAC Vietnam Representative Office
A2K 시리즈 이상 방전 억제 장치
A2K 시리즈 이상 방전 억제 장치는 DC 전원 공급 장치에 양(+)의 전압 펄스를 인가하여 타깃에 축적된 전하를 중화합니다. 기존 장비에도 간편하게 장착할 수 있으며, 저비용으로 생산 수율 및 처리량 향상에 기여합니다.
특징
높은 처리량
이상 방전을 억제하여 높은 입력 전력을 구현할 수 있습니다.
기판 손상 감소
아크 방전에 의해 발생하는 기판 손상을 줄일 수 있습니다.
기판 온도 억제
RF 스퍼터링 대비 기판 표면 온도 상승을 억제할 수 있습니다.
간편한 연결
기존 장비에 간편하게 연결할 수 있습니다. ※1
역방향 펄스 주파수 변경
설정 가능한 주파수 범위:
A2KH-25/50: 1kHz ~ 20kHz
A2K-20K / 40K: 1kHz ~ 50kHz
펄스 동기화 시스템
여러 대의 A2K에서 출력되는 펄스를 동기화할 수 있습니다. ※2 ※3
마스터/슬레이브 연결을 통한 대용량 운전
최대 6대의 A2K-20K / 40K를 병렬 운전할 수 있습니다.
응용 분야: 펄스 동기화 시스템
동일한 챔버 내에서 캐소드가 서로 가까이 위치하여 마주 보고 있거나, 여러 대의 A2K에서 방전 간섭이 발생하는 경우에는 위상 제어 기능을 사용하여 A2K의 역방향 펄스를 동상 또는 역상으로 설정할 수 있습니다. 이를 통해 방전 간섭을 억제할 수 있습니다. ※3 ※4
※1: ULVAC DPG 시리즈 DC 전원 공급 장치에 연결할 수 있습니다.
※2: A2KH-25/50과 A2K-20K/40K를 혼합하여 사용하는 경우, 펄스 동기화 및 병렬 운전은 지원되지 않습니다.
※3: A2KH-25/50은 외부 동기화 장치(PHSM / PHSS)가 필요합니다.
※4: A2K-20K/40K는 동상(同相) 위상 제어만 지원합니다.
응용 분야
- FPD용 반응성 스퍼터링 장비
- 산업용 코팅용 반응성 스퍼터링 장비
- 컬러 TFT용 반응성 스퍼터링 장비
사양
| Model | A2KH-25 | A2KH-50 | A2K-20K | A2K-40K | |
| Control power input | Input | AC90 to 110V | AC100 to 240V | ||
| Frequency | Single phase 50/60Hz | ||||
| Power | 100VA | 120VA | 400VA | ||
| Leak current | 1mA or less | ||||
| Input specification | operating voltage | -100 to -800V | |||
| operating current | 0 to 25A | 0 to 50A | 0 to 50A | 0 to 100A | |
| Input structure | Connector connection | Terminal block or connector connection | Connector connection | ||
| Output specification | Pulse range | 5μs/10μs ( Internal switch switching ) | 1 to 18μs (There is a frequency limitation) | ||
| Oscillating frequency | ・Pulse range 5μs： 2,5,10,15,20kHz ・Pulse range 10μs： 1,2.5,5,7.5,10kHz | 1 to 50KHz Variable in 1KHz increments | |||
| Inversion pulse voltage | 10 to 20％ of the DC power generator output voltages. ( It depends on a load impedance ) | ||||
| Withstand voltage | continuous operation | -1500Vdc | |||
| Parallel operation | Nothing | Up to 6units can be controlled *5 | |||
| Cooling method | Forced air-cooling | ||||
| Dimension（W×D×H) | 238×450×149mm | 430×450×149mm | 483×630×177mm | ||
| Weight | 16kg | 27kg | 30kg | 45kg | |
| Applicable standard | RoHs | ||||
- 주변 작동 온도: 5℃ ~ 40℃ (결로가 발생하지 않는 조건)
- 작동 환경: 직사광선, 열, 먼지 및 진동을 피하고, 부식성 가스가 없는 환경에서 사용하십시오.
- ※5: A2K-20K와 A2K-40K는 함께 사용할 수 없습니다.
