ULVAC Vietnam Representative Office
A2K 系列电源
在反应性溅射过程中，A2K 系列异常放电防止单元向直流电源施加正电压脉冲，以中和靶材上的电荷。 该单元可以方便地安装到现有设备上，并能以低成本实现产率和生产效率的提升。
特点
高吞吐量
通过减少异常放电，实现高功率输入降低基板损伤
能够减少由电弧引起的基板损伤抑制基板温度
与 RF 溅射相比，能够有效抑制基板温度简单连接
可方便地连接至现有设备 *1可变反转脉冲频率
适用范围：A2KH-25/50：1kHz～20kHz，A2K-20K/40K：1kHz～50kHz脉冲同步系统
多台 A2K 单元的输出脉冲可实现同步 *2 *3主从连接实现大容量
最多可并联 6 台 A2K-20K/40K 单元运行
Application: Pulse synchronization system
当阴极在同一真空腔中靠得很近并且相对而立，或者多个 A2K 装置的放电之间存在干扰时，可以通过使用相位控制功能将 A2K 反向脉冲设置为同相或反相，以防止放电干扰。 *3 *4
*1：可连接至 ULVAC DPG 系列直流电源
*2：当混合使用 A2KH-25、50 与 A2K-20K、40K 装置时，无法进行脉冲同步与并联运行
*3：A2KH-25/50 需要外部同步单元（PHSM/PHSS）
*4：A2K-20K/40K 仅支持同相位控制
应用
用于平板显示器的反应性溅射设备
用于工业涂层的反应性溅射设备
用于彩色 TFT 的反应性溅射设备
技术参数
| 型号 | A2KH-25 | A2KH-50 | A2K-20K | A2K-40K | |
| 控制电源输入 | 输入 | AC90 to 110V | AC100 to 240V | ||
| 频率 | 单相 50/60Hz | ||||
| 功率 | 100VA | 120VA | 400VA | ||
| 漏电流 | 1 毫安以下 | ||||
| 输入规格 | 工作电压 | -100 to -800V | |||
| 工作电流 | 0 to 25A | 0 to 50A | 0 to 50A | 0 to 100A | |
| 输入结构 | 接头连接 | 接线端子或接头连接 | 接头连接 | ||
| 输出规格 | 脉冲范围 | 5μs/10μs （内部开关切换） | 1 to 18μs （有频率限制） | ||
| 振荡频率 | ・脉冲范围 5μs： 2,5,10,15,20kHz ・脉冲范围 10μs： 1,2.5,5,7.5,10kHz | 1 to 50KHz 可按 1KHz 步进调节 | |||
| 反向脉冲电压 | 直流电源输出电压的 10～20％（取决于负载阻抗） | ||||
| 耐压 | 连续运行 | -1500Vdc | |||
| 并联运行 | 无 | 最多可控制 6 台设备 *5 | |||
| 冷却方式 | 强制风冷 | ||||
| 尺寸（W×D×H) | 238×450×149mm | 430×450×149mm | 483×630×177mm | ||
| 重量 | 16kg | 27kg | 30kg | 45kg | |
| 适用标准 | RoHs | ||||
环境工作温度 5℃～40℃（无结露）
工作环境：避免阳光直射、热源、粉尘、振动，并且无腐蚀性气体。
*5：A2K-20K 与 A2K-40K 不能同时使用。
除了经销 ULVAC 电源系列之外，ULVAC 工程师还在越南现场执行这些电源的维护与维修，24 小时随时支持设备停机的故障排查。若您需要任何咨询，请致电热线：0988 248 567（Ngoc 先生）或 0936 151 138（Hao 女士）。
