ULVAC Vietnam Representative Office
APIOS NE-950EX 양산용 건식 에칭 시스템
APIOS NE-950EX는 LED 제품의 GaN, Sapphire, 금속, ITO 등의 건식 에칭 공정에 적용되는 고생산성 양산용 건식 에칭 시스템입니다.
특징
- 높은 생산성: 기존 시스템 대비 **140%**의 처리 성능
- 웨이퍼 처리 능력:
- 6인치: 3장
- 4인치: 7장
- 3인치: 12장
- 2인치: 최대 29장 배치 처리
- 자기장 내장 ICP(ISM*1) 적용: 반도체 시장에서 600건 이상의 플라즈마 분포 데이터를 축적한 고밀도 플라즈마 소스
- *1 ULVAC 특허 제 3188353호
- 스타형 전극 적용
- RF 윈도우의 증착물 자가 세정 기능*2 탑재
- *2 ULVAC 특허 제 3429391호
- 재증착 방지 설계를 통해 높은 식각 안정성, 균일성 및 신뢰성 확보
- 다양한 건식 에칭 공정 대응:
- GaN
- Sapphire
- Metal
- ITO
- SiC
- AlN
- ZnO
- 4원계 화합물 반도체 소재 등
- 다양한 옵션 구성 가능
응용 분야
LED 제품의 GaN, Sapphire, 금속, ITO 등의 건식 에칭
