ULVAC Vietnam Representative Office

DỤNG CỤ ETCHING KHÔ APIOS NE-950EX

Dụng cụ khắc khô hiệu quả hàng loạt LED NE-950EX

đặc điểm

  • Năng suất cao hơn (140% so với các hệ thống thông thường)

    3 tấm wafer trong đường kính 6 inch

    7 tấm wafer trong đường kính 4 inch

    12 tấm wafer trong đường kính 3 inch

    29 wafers xử lý hàng loạt sẵn sàng trong đường kính 2 inch

  • ICP với từ trường (ISM * 1), nguồn plasma mật độ cao có hơn 600 hồ sơ phân phối trên thị trường bán dẫn hợp chất được trang bị.

    * 1: Bằng sáng chế ULVAC số 3188353

  • Điện cực  hình sao

    * 2 có chức năng tự làm sạch vật liệu lắng đọng từ cửa sổ RF được trang bị.* 2: Bằng sáng chế ULVAC số 3429391

  • Khả năng cố định cao, độ ổn định, độ tin cậy đạt được thông qua thiết kế ngăn ngừa tái lắng đọng.

  • Công nghệ Etching khô sẵn có cho các ứng dụng quy trình khác nhau. (GaN, Sapphire, Metal, ITO, SiC, AlN, ZnO, vật liệu bán dẫn hợp chất 4 nguyên tố, v.v.)

  • Nhiều tùy chọn khả dụng

ứng dụng

  • Etching khô GaN, Sapphire, kim loại, ITO, v.v. cho sản phẩm LED