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ULVAC Vietnam Representative Office

ULDIS 시리즈 광학 필터 및 금속화용 스퍼터링 시스템

Hệ thống phún xạ chân không dòng ULDiS Series
ULDIS 시리즈는 디지털 스퍼터링 시스템으로, 향상된 MetaMode® 기술을 적용하여 고품질 광학 필터 및 광학 코팅을 구현합니다. ULVAC은 미국 JDS Uniphase Corporation과 광학 응용 분야를 위한 MetaMode® 스퍼터링 기술 라이선스 계약을 체결했으며, ULDIS는 다양한 기업의 생산 및 연구개발 환경에 적용할 수 있습니다.

특징

  • 필터 코팅의 우수한 분광 특성
  • 낮은 공정 온도
  • 듀얼 캐소드 및 AC 스퍼터링을 통한 플라즈마 아킹 방지
  • 코팅 막 두께의 높은 재현성
  • 저손상 캐소드를 포함한 다양한 캐소드 옵션 제공

적용 분야

  • 디지털 카메라용 IR 컷오프 필터
  • 프로젝터용 다이크로익 필터(Dichroic Filter)
  • DVD용 미러 코팅
  • 반사 방지(AR) 코팅을 포함한 기타 광학 필터