ULVAC Vietnam Representative Office
DIS-90, DIS-252, DIS-501 모델 스크롤형 건식 진공 펌프
DIS / DISL 스크롤형 진공 펌프는 1개의 회전 스크롤과 2개의 고정 스크롤로 구성된 더블 랩 타입입니다. 대기압에서부터 운전할 수 있으며, 높은 최종 진공도를 달성합니다. 진동과 소음이 낮습니다. 유지보수 주기는 시간계로 관리할 수 있습니다.
특징
- 컴팩트한 크기로 높은 유량을 제공합니다.
- 건식 진공 펌프 중 가장 높은 최종 진공도를 제공합니다.
- 열 보호 장치가 내장된 안전한 설계입니다.
- 배기 가스를 배출하여 수증기의 응축을 방지합니다.
응용 분야
- 분석 장비
- 가스 회수 시스템
- 코팅 장비
- TMP의 보조 펌프
- 헬륨 누설 검지기
- 반도체 제조 공정
사양
※ 1: 실제 펌핑 속도는 대기압에서 가스를 흡입할 때의 실제 펌핑 속도의 약 1.2배입니다.
※ 2: 전원 플러그 케이블은 포함되지 않습니다.
※ 3: AF = 에어 플러시
에어 플러시 작동은 펌프 내부에 남아 있는 물을 배출할 뿐만 아니라, 최대 압력을 회복하는 효과도 있습니다.
인증 규격 / 전압
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- ： 표준 、 ○ ： 옵션 、 – ： 해당 없음
인증 ※ cTUV: 캐나다의 기준을 준수하며, 국제적인 제3자 기관의 제품 안전 시험 및 인증을 통해 품질이 보증된 고품질 제품입니다.
주의사항
１ | 펌프가 분말 또는 제품을 흡입할 경우 고장이 발생할 수 있습니다. 흡입구 필터 등을 사용해 주십시오. |
２ | 인체에 유해하거나 폭발성, 인화성 또는 부식성 가스는 흡입하지 마십시오. 흡입할 경우 가스로 인해 고장이 발생하거나 폭발 또는 발화의 위험이 있습니다. |
치수 도면
