涡旋式干式真空泵 DIS/DISL 系列
小型干式真空泵 DIS/DISL 系列为双重绕卷式结构，由一个旋转涡旋和两个固定涡旋组成。可从大气压开始运行，并能达到较高的极限真空度。振动和噪音低。维护周期可通过计时器进行管理。
特点
- 体积小而排量大。
具备干式真空泵中最高水平的极限压力。
采用内置自动复位型热保护器的安全设计。
通过气体冲洗抑制水分冷凝。
应用 涡旋式干式真空泵 DIS/DISL 系列
- 分析设备
- 气体回收系统
- 镀膜设备
- 涡轮分子泵的前级泵
- 氦检漏仪
- 半导体制造工艺
技术参数
※1：当吸入大气压下的气体时，实际抽速约为额定抽速的 1.2 倍。
※2：电源插头和电源线未包含在内。
※3：AF＝气体冲洗
气体冲洗操作不仅能排出残留在泵内的水分，还具有恢复极限压力的效果。
※2：电源插头和电源线未包含在内。
※3：AF＝气体冲洗
气体冲洗操作不仅能排出残留在泵内的水分，还具有恢复极限压力的效果。
对应证书／电压
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●：标准 ○：选配 －：不适用
※cTUV 认证：这是符合加拿大标准的高品质产品，由进行产品安全测试和认证的国际第三方机构评估。
※cTUV 认证：这是符合加拿大标准的高品质产品，由进行产品安全测试和认证的国际第三方机构评估。
注意事项 小型干式真空泵 DIS/DISL 系列
１ | 如果泵抽入粉末或产品，可能会受到损坏。 请使用入口过滤器等装置。 |
２ | 请勿抽入对人体有害、或具有爆炸性、易燃性、腐蚀性的气体。否则可能因气体而导致故障、爆炸或起火。 |
外形尺寸图
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