ULVAC Vietnam Representative Office
오일 필터 모델 TM201, TM401, TMX-1, TM-2, TM-3, TM-4
오일 필터는 오일식 로터리 진공 펌프에서 배출되는 오일 미스트를 제거하기 위한 장치입니다. 오일식 진공 펌프를 기동하면 대기압 상태에서 진공 상태까지 공기를 흡입하여 압력을 낮춥니다. 이 과정에서 진공 펌프는 흡입한 공기를 펌프의 배기구를 통해 외부로 배출합니다. 이때 펌프 내부의 진공 오일 일부가 오일 미스트 형태로 공기와 함께 배출될 수 있습니다. 따라서 작업 환경의 오염을 방지하고 진공 오일의 손실을 최소화하기 위해서는 펌프의 배기구에 **오일 필터(오일 미스트 트랩)를 설치하는 것이 필요합니다.
특징
1차 진공 펌프용
- 오일 방울(“오일 미스트”) 제거
펌프에서 배출되는 오일 미스트를 크게 줄여 작업 환경의 오염을 방지할 수 있으며, 진공 오일의 잦은 보충 필요성도 크게 줄일 수 있습니다. - 효과적인 소음 저감
펌프가 대기압에서 기동할 때, 저진공 영역에서 펌핑할 때 및 가스 밸러스트 운전 중 발생하는 소음을 효과적으로 감소시킵니다. 특히 저주파 소음 저감 효과가 뛰어납니다. - 오일 회수 방식 선택 가능 (옵션)
포집된 오일을 메인 펌프부로 직접 회수하여 재사용할 수 있습니다. 단, 오일 회수 방식은 필터 수명을 단축시키거나 펌프 이상을 유발할 수 있습니다. - 오일 회수 조건에 대한 사전 검토 필요
포집된 오일의 회수 여부는 펌프의 운전 조건에 따라 달라질 수 있습니다. 따라서 적용하려는 펌프의 구체적인 운전 조건을 ULVAC에 문의하여 적합한 구성품을 선정하는 것을 권장합니다. - 간편한 설치
TM 시리즈의 연결 포트는 표준 진공 펌프의 배기구에 맞도록 설계되어 있어 간단하게 장착할 수 있습니다.
※ VD601 및 VD901은 제외됩니다. - 교체 가능한 카트리지형 필터 엘리먼트
내부 필터 엘리먼트는 교체 가능한 카트리지 타입으로 구성되어 있어 필터 교체가 간편합니다.
※ 기존 TM-3, TM-4 및 TM-4S 모델의 필터를 카트리지형 필터로 변경하는 경우에는 어댑터가 필요합니다.
주의
- 1. 펌프의 배기 속도와 진공 배기 대상 챔버의 용적에 적합한 크기의 오일 미스트 트랩을 사용하십시오.
- 2. PVD 시리즈, VD151 및 VD201 모델에 장착할 경우 어댑터가 필요합니다.
- 3. TMX-1 및 TMX-2 모델은 오일 회수 기능을 사용할 수 없습니다.
- 4. TMX-1, TMX-2 및 TM-2(구형 모델)는 카트리지형 필터로 변경할 수 없습니다.
소형 오일식 로터리 진공 펌프용
오일 미스트 트랩은 오일식 로터리 진공 펌프의 운전 중 배출되는 **오일 미스트(오일 연무)**를 포집하고, 포집된 오일을 자동으로 진공 펌프 내부로 회수할 수 있습니다.
오일식 로터리 진공 펌프의 배기구에서 발생하는 오일 미스트는 특히 대기압 부근에서 운전할 때 많이 발생합니다. 오일 미스트가 외부로 배출되면 주변 공기와 설비를 오염시킬 수 있지만, 오일 미스트 트랩을 설치함으로써 이러한 문제를 효과적으로 방지할 수 있습니다.
또한 필터 엘리먼트만 별도로 교체할 수 있어 유지보수가 간편합니다.
사양
1차 진공 펌프용
| Model | Attachment flange *1 | Vacuum pump used | Weight(kg) | Material |
| TMX-1 | Special flange/ G1 1/2 | PVD-180(B) *2 PVD-360(B) VD151 VD201 | 1.1 | Trap : Mild steel (SPCC) Glass wool |
| TM201 | VF40/G 1・1/2 | VD301 (for low loads)*5 VD401 (for low loads) | 8.5 | |
| TM401 | VF40/G 1・1/2 | VD301 (for high loads) *6 VD401 (for high loads) VD601 (for low loads) VD901 (for low loads) | 10 | |
| TM-2 (standard, F) *3 | VG50/G2, VG50 (for PKS-016） VF40/G2, VG50 (for VD601/VD901) | PKS-016 VD601 (for high loads)*2 VD901 (for high loads) | 5.7(6.2) *4 | |
TM-3 | VG80/G3, VG80 (for PKS-030) VF50\G3, VG80 (for VS1501) | PKS-030 VS1501 | 10(11.5)*4 | |
| TM-4 (standard, F) | VG100/G4, VG100 8for PKS-070) VF50/G4, VG100 (for VS2401) | PKS-070 VS2401 | 23.5(25)*4 | |
| TM-4S | VG100/VG100 (for PKS-070) VF50/VG100 (for VS2401) | PKS-070 (for high loads) VS2401 (for high loads) | 59 |
소형 오일식 로터리 진공 펌프용
| Model | Applicable models | A | B | C |
| OMT-050A | G-5DA、G-10DA、G-20DA G-50DA、G-25SA、G-50SA GHD-031 GLS-051、GLD-040、GLD-051 | G 3/4 | Φ65 | 93 |
| OMT-100A | G-101S、G-101D、GHD-101 | G 1 | Φ113 | 135 |
| OMT-200A | GLD-137AA、GLD-137CC GLD-202AA、GLD-202BB | G 1 | Φ113 | 135 |
Dimension unit＝mm |
