ULVAC Vietnam Representative Office
オイルフィルター 型式：TM201、TM401、TMX-1、TM-2、TM-3、TM-4
オイルフィルターは、油回転真空ポンプから排出されるオイルミストを除去するために使用されます。 油回転真空ポンプを起動すると、大気圧から低圧力領域まで空気を吸引します。この過程で、真空ポンプは吸引した気体をポンプの排気口から排出します。 同時に、ポンプ内部の真空オイルの一部がオイルミスト（油蒸気）の状態で外部へ排出される場合があります。 作業環境の汚染を防止するとともに、真空オイルの損失を低減するためには、ポンプの排気口にオイルフィルター（オイルミストトラップ）を取り付けることが重要です。
オイルフィルターの特徴
一次側真空ポンプ用
オイルミスト（油煙）の除去
真空ポンプから排出されるオイルミストを大幅に低減します。
作業環境への油分による汚染を防止するとともに、ポンプオイルの補充頻度を大幅に削減できます。効果的な騒音低減
大気圧からの起動時、低真空領域での排気中、およびガスバラスト運転時において、騒音を効果的に低減します。
特に低周波騒音の低減に優れています。オイル回収方式の選択が可能（オプション）
捕集されたオイルをメインポンプ部へ直接戻して再利用する方式を選択できます。
ただし、回収オイルの状態によってはフィルター寿命の低下やポンプの不具合が発生する可能性があります。オイル回収の効果はポンプの運転条件に依存します。
ご使用用途に適した構成を選定するため、具体的なポンプ運転条件についてはULVACまでお問い合わせください。簡単な取り付け
TMシリーズの接続ポートは、標準真空ポンプの排気口に適合するよう設計されているため、簡単に取り付けることができます。
（VD601およびVD901を除く）交換可能なフィルターエレメント
内蔵フィルターエレメントは交換可能なカートリッジ式を採用しています。
フィルターカートリッジの交換作業は容易です。
（旧型TM-3、TM-4、TM-4Sのフィルターをカートリッジ式へ変更する場合は、専用アダプターが必要です。）
注意事項
*1 ポンプの排気速度および真空排気対象チャンバーの容積に適したサイズのオイルミストトラップを必ず使用してください。
*2 PVDシリーズ、VD151およびVD201に取り付ける場合は、専用アダプターが必要です。
*3 TMX-1およびTMX-2モデルでは、オイル回収方式は使用できません。
*4 TMX-1、TMX-2および旧型TM-2モデルは、カートリッジ式フィルターへの変更はできません。
小型油回転真空ポンプ用
オイルミストトラップは、油回転真空ポンプの運転中に排出されるオイルミスト（油煙）を捕集し、自動的に真空ポンプへ戻すことができます。
油回転真空ポンプでは、特に大気圧付近での運転時に、排気口からオイルミストが発生する場合があります。
飛散したオイルにより周囲環境が汚染される可能性がありますが、本オイルミストトラップを取り付けることで、この問題を解決できます。
また、フィルターエレメントのみの交換も可能です。
仕様
一次側真空ポンプ用
| Model | Attachment flange *1 | Vacuum pump used | Weight(kg) | Material |
| TMX-1 | Special flange/ G1 1/2 | PVD-180(B) *2 PVD-360(B) VD151 VD201 | 1.1 | Trap : Mild steel (SPCC) Glass wool |
| TM201 | VF40/G 1・1/2 | VD301 (for low loads)*5 VD401 (for low loads) | 8.5 | |
| TM401 | VF40/G 1・1/2 | VD301 (for high loads) *6 VD401 (for high loads) VD601 (for low loads) VD901 (for low loads) | 10 | |
| TM-2 (standard, F) *3 | VG50/G2, VG50 (for PKS-016） VF40/G2, VG50 (for VD601/VD901) | PKS-016 VD601 (for high loads)*2 VD901 (for high loads) | 5.7(6.2) *4 | |
TM-3 | VG80/G3, VG80 (for PKS-030) VF50\G3, VG80 (for VS1501) | PKS-030 VS1501 | 10(11.5)*4 | |
| TM-4 (standard, F) | VG100/G4, VG100 8for PKS-070) VF50/G4, VG100 (for VS2401) | PKS-070 VS2401 | 23.5(25)*4 | |
| TM-4S | VG100/VG100 (for PKS-070) VF50/VG100 (for VS2401) | PKS-070 (for high loads) VS2401 (for high loads) | 59 |
| Model | Applicable models | A | B | C |
| OMT-050A | G-5DA、G-10DA、G-20DA G-50DA、G-25SA、G-50SA GHD-031 GLS-051、GLD-040、GLD-051 | G 3/4 | Φ65 | 93 |
| OMT-100A | G-101S、G-101D、GHD-101 | G 1 | Φ113 | 135 |
| OMT-200A | GLD-137AA、GLD-137CC GLD-202AA、GLD-202BB | G 1 | Φ113 | 135 |
Dimension unit＝mm |
