| Model | ULK-04A | ULK-06A | ULK-10A | ULK-14A | ||||||||||||
| Pumping speed(L/sec) | 550 | 500 | 1200 | 1100 | 3400 | 3000 | 5400 | 4900 | ||||||||
| Ultimate pressure(Pa)*1 | <2.6×10-5 | <<2.6×10-6 | <2.6×10-5 | <2.6×10-6 | <<2.6×10-5 | <2.6×10-6 | <2.6×10-5 | <<2.6×10-6 | ||||||||
| Maxium forepressure(Pa) | 40 | 60 | 40 | 60 | 35 | 40 | 30 | 30 | ||||||||
| Heating up time(min) | 9 | 8.5 | 16.5 | 15 | 20 | 20 | 25 | 25 | ||||||||
| Oil*4 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 | OIL D-11 | OIL D-31 | D-11 | D-31 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-11 | ||||||||
| Oil capacity(L) | 0.15 | 0.35 | 0.8 | 1.5 | ||||||||||||
| Cooling water temperature(℃) | 19℃~25℃ | |||||||||||||||
| Water connections | Rc 1/4″ | Rc 3/8″ | ||||||||||||||
| Water capacity(L/min) | 1 | 1.5 | 2.5 | 3 | 2.5 | 3.5 | ||||||||||
| Voltage | 200V/1Φ | |||||||||||||||
| Pump power(kW) | 0.55 | 0.73 | 0.9 | 1.2 | 2 | 2.4 | 2.25 | 2.4 | ||||||||
| Heater type | Plate | |||||||||||||||
| Standard backing pump*2 | VD151/VD201 PVD-180/PVD-360 | VD30C/VD40C/VD60C | VD90C VS1501 PKS-016/PKS-030 | VS1501/VS2401/PKS-030 | ||||||||||||
| Dimensions*3(mm) | A | 175 | 250 | 340 | 340 | |||||||||||
| B | 150 | 180 | 240 | |||||||||||||
| H | 344 | 449 | 650 | 670 | ||||||||||||
| Inlet | VG100 | VG150 | VG250 | VG350 | ||||||||||||
| Outlet | VG25 | VG40 | VG80 | |||||||||||||
| Weight(kg) | 7.5 | 13.5 | 47 | 56 | ||||||||||||
| Oil level gage | Without | Slight glass | ||||||||||||||
| Themal switch option | With | |||||||||||||||
| Themal switch operating temperature(℃) | 250 | 250 | 180 | 180 | ||||||||||||
*
1 최종 압력은 냉각수 온도 20°C 조건에서 이온화 진공 게이지를 사용하여 측정한 값입니다.
2 보조 펌프는 확산 펌프의 최대 처리 가스량을 기준으로 선정합니다. 다만 초기 배기 시간을 고려할 경우, 대용량 보조 펌프를 사용하는 것이 좋습니다.
3 기타 치수는 ULVAC, Inc. 공식 웹사이트에 게시된 CAD 데이터를 참조해 주십시오.
4 D-11은 범용 탄화수소계 오일이며, D-31은 높은 내열 안정성을 갖춘 실리콘계 확산 펌프 오일입니다.