ULVAC Vietnam Representative Office
ULKシリーズ油拡散ポンプ
ULVACのULKシリーズ油拡散ポンプは、小型・高真空用の油拡散ポンプです。高い限界背圧を実現するよう設計されており、優れた排気性能を発揮します。 本油拡散ポンプは、研究開発用途から大規模な生産ラインまで、幅広い分野で使用されています。
特長
- 10⁻⁵ Paレベルの優れた到達圧力を実現
本油拡散ポンプは、約10⁻⁵ Paの高真空領域まで到達可能です。 - 長寿命・高信頼性設計
機械的なスライドベアリングを使用しない構造により、長期間にわたり安定した運転が可能です。 - 優れたコストパフォーマンス
同等クラスの他社製品と比較して、低価格で導入できます。 - 低い運転・メンテナンスコスト
シンプルな構造により、運転や保守が容易で、ランニングコストを低減できます。 - 用途に応じた排気性能の選択が可能
2種類のオイルとヒーターユニットを選択することで、必要な排気速度および到達圧力を実現できます。 - バックポンプ側へのオイル逆流を防止する構造を採用
油の逆流を抑制する機構を搭載し、クリーンな真空環境を維持します。
用途
- 蒸着装置・真空めっき装置
- 真空熱処理炉（Vacuum Heat Treatment Furnace）
- 高真空検査装置
- 100％新品を提供
ULVACベトナムでは、中古品ではなく、最新の正規製品を提供し、お客様に安心してご使用いただける高品質な真空機器をお届けします。 - 要求仕様に合わせた製品提案
必要な圧力、電圧、排気速度などの条件に応じて、最適な真空ポンプを選定します。 - 迅速な納期対応
緊急対応が必要なお客様向けに、ベトナム国内に予備ポンプを保有し、迅速な供給を可能にしています。 - コストに優れた真空ソリューション
お客様の用途や条件に合わせた最適な価格提案を行っています。
仕様
| 型式 | ULK-04A | ULK-06A | ULK-10A | ULK-14A | ||||||||||||
| 排気速度（L/s） | 550 | 500 | 1200 | 1100 | 3400 | 3000 | 5400 | 4900 | ||||||||
| 到達圧力（Pa）*1 | ＜2.6×10-5 | ＜<2.6×10-6 | ＜2.6×10-5 | ＜2.6×10-6 | ＜<2.6×10-5 | ＜2.6×10-6 | ＜2.6×10-5 | <＜2.6×10-6 | ||||||||
| 最大背圧（Pa） | 40 | 60 | 40 | 60 | 35 | 40 | 30 | 30 | ||||||||
| 昇温時間（min） | 9 | 8.5 | 16.5 | 15 | 20 | 20 | 25 | 25 | ||||||||
| オイル*4 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 | OIL D-11 | OIL D-31 | D-11 | D-31 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-11 | ||||||||
| オイル容量（L） | 0.15 | 0.35 | 0.8 | 1.5 | ||||||||||||
| 冷却水温度（℃） | 19℃～25℃ | |||||||||||||||
| 冷却水配管サイズ | Rc 1/4″ | Rc 3/8″ | ||||||||||||||
| 冷却水流量（L/min） | 1 | 1.5 | 2.5 | 3 | 2.5 | 3.5 | ||||||||||
| 電圧 | 200V/1Φ | |||||||||||||||
| ポンプ電源（kW） | 0.55 | 0.73 | 0.9 | 1.2 | 2 | 2.4 | 2.25 | 2.4 | ||||||||
| ヒータ方式 | Plate | |||||||||||||||
| 標準バックポンプ*2 | VD151/VD201 PVD-180/PVD-360 | VD30C/VD40C/VD60C | VD90C VS1501 PKS-016/PKS-030 | VS1501/VS2401/PKS-030 | ||||||||||||
| 寸法（mm）*3 | A | 175 | 250 | 340 | 340 | |||||||||||
| B | 150 | 180 | 240 | |||||||||||||
| H | 344 | 449 | 650 | 670 | ||||||||||||
| 吸気口 | VG100 | VG150 | VG250 | VG350 | ||||||||||||
| 排気口 | VG25 | VG40 | VG80 | |||||||||||||
| 質量（kg） | 7.5 | 13.5 | 47 | 56 | ||||||||||||
| オイルレベルゲージ | なし | 覗きガラス | ||||||||||||||
| 温度スイッチ（オプション） | あり | |||||||||||||||
| 温度スイッチ作動温度（℃） | 250 | 250 | 180 | 180 | ||||||||||||
※1：到達圧力は、冷却水温度20℃の場合において、電離真空計により測定した値です。
※2：バックポンプは、油拡散ポンプの最大スループットを得るために選定されています。ただし、到達圧力までの立ち上げ時間を考慮する場合は、より大容量のバックポンプを使用することを推奨します。
※3：その他の寸法については、ULVAC株式会社ウェブサイトに掲載されているCADデータをご確認ください。
※4：D-11は汎用炭化水素系オイルです。D-31は高い耐熱安定性を持つシリコン系油拡散ポンプオイルです。
