真空ポンプ

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ULVACの真空ポンプは、長年にわたり培ってきた高度な真空技術と豊富な経験をもとに開発されています。油回転真空ポンプをはじめ、メカニカルブースタポンプ、拡散ポンプ、クライオポンプ、ターボ分子ポンプなど、幅広い製品を取り揃えています。さらに、小型ドライ真空ポンプもラインアップし、あらゆる産業分野のお客様の多様なニーズにお応えしています。

ドライ真空ポンプ

LSシリーズ

LSシリーズは、大排気速度と低消費電力を両立したスクリュー式ドライ真空ポンプです。

お客様の用途に応じて、排気速度120～1,200 m³/hの4つのモデルからお選びいただけます。

高い信頼性と優れた耐久性を備え、長期間にわたり安定した性能を発揮します。

LRシリーズ / HRシリーズ / URシリーズ

ULVAC独自の技術により、ドライ真空ポンプ内部で発生する熱を効果的に活用することで、LR・HR・URシリーズは最も厳しいプロセス条件下でも安定した運転を実現します。

CRシリーズ

CRシリーズ Bタイプは、空冷式のドライ真空ポンプです。

CEおよびcTUVusなどの国際規格に適合しており、高い安全性と信頼性を備えています。

GRシリーズ

ULVACは、LR・HRシリーズで長年培ってきた豊富な実績と経験をもとに、一般産業用途向けとして、シンプルでクリーンな設計のGRシリーズドライ真空ポンプを開発しました。

油回転真空ポンプ

VDシリーズ / VDNシリーズ

VDシリーズは、ULVACが独自に開発した高効率マルチ電圧モーター（IE3）を搭載した直結型の油回転真空ポンプです。

2段ベーン方式を採用し、優れた到達圧力性能を実現しています。

VS・VSNシリーズ

VSシリーズは、直結駆動モーターを搭載した一段式油回転ベーン真空ポンプです。

PVDシリーズ

PVDシリーズは、優れた真空性能を備えたコンパクトなベルト駆動式の油回転真空ポンプです。

高い排気性能により、世界中のさまざまな用途で幅広く使用されています。

PKSシリーズ

PKSシリーズは、大型の油回転ピストン真空ポンプです。

優れた耐久性と安定した排気特性を備えており、金属・自動車産業をはじめ、化学、製薬、食品など幅広い産業分野のさまざまな用途で使用されています。

VS650A/750Aシリーズ

VS650AおよびVS750Aは、超大容量の排気性能を備えた一段式油回転ベーンポンプです。

低振動・低騒音設計を採用し、高い耐久性と長寿命を実現することで、初期投資および運用コストの低減に貢献します。

また、お客様の要求仕様に応じて、水冷式または空冷式の2タイプから選択できます。

オイルフィルター

真空ポンプが作動する際、特に大気圧からの起動時には、ポンプ内部の少量のオイルがミスト状となり、排気ガスとともに外部へ排出される場合があります。

これによりオイルの損失や作業環境への影響が発生する可能性があります。

ULVACでは、このような問題を解決するために、オイルフィルター／オイルミストトラップを提供しています。

メカニカルブースタポンプ

PRCシリーズ

ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、または水封式真空ポンプと組み合わせて使用することで、メカニカルブースタポンプは、粗引きポンプの排気速度が低下する10kPa～0.1Paの圧力範囲において、排気速度を大幅に向上させることができます。

また、流量ブースタポンプとも呼ばれています。

PMB-Dシリーズ

PMB-Dシリーズは、高効率マルチ電圧モーターを搭載した、幅広い用途で使用されているメカニカルブースタポンプです。

ポンプ機構部とモーター軸が直結された構造でありながら、インバーター制御により大気圧からの起動が可能です。

ベトナムをはじめ、世界各国の工場で幅広く採用されている信頼性の高い製品です。

PMB-Cシリーズ

ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、または水封式真空ポンプと組み合わせて使用することで、メカニカルブースタポンプは、粗引きポンプの排気速度が低下する10kPa～0.1Paの圧力範囲において、排気速度を向上させることができます。

ターボ分子ポンプ

UTM-FW/FHシリーズ

UTM-FHおよびUTM-FWは、5軸磁気浮上方式を採用した複合型ターボ分子ポンプです。

デジタル制御技術による高精度な制御と優れた性能を実現しています。

さらに、高い信頼性、省エネルギー性にも優れた製品です。

UTM-MIシリーズ

ターボ分子ポンプ用コントローラーと磁気軸受を一体化することで、配線の削減と設置スペースの小型化を実現しています。

UTM-Bシリーズ

セラミックベアリングを採用したターボ分子ポンプで、優れた圧縮比を実現しています。

コントローラー一体型設計により、コンパクトな構造を実現しています。

高い背圧性能により、小型の補助ポンプとの組み合わせが可能です。

YTPシリーズ

YTPシリーズB型は、油回転真空ポンプとセラミックベアリング搭載ターボ分子ポンプを組み合わせた高真空ポンプシステムです。

大気圧から高真空領域までの排気が可能です。

YTPディスプレイシリーズ

YTPシリーズB型は、セラミックベアリング搭載のターボ分子ポンプを採用した高真空ポンプシステムです。

大気圧から高真空領域までの排気が可能です。

拡散ポンプ

PBLシリーズ

ULVACの油拡散ポンプは、高い排気速度を実現するため、さまざまな産業プロセスで広く使用されています。

特に、大量のガスを可能な限り高速で排気する必要がある冶金、プラスチックコーティング、化学製造分野などの用途に適しています。

PFLシリーズ

PFL型油拡散ポンプは、長年にわたる製造実績と豊富な研究開発経験をもとに設計・製造されています。

多くの高真空設備に採用されており、その優れた実用性能は高く評価されています。

ULKシリーズ

ULK型油拡散ポンプは、高い臨界背圧性能を備えたコンパクトな高真空ポンプです。

研究用途から生産ラインまで、幅広い分野で使用されています。

イオンポンプ

PSTシリーズ

スパッタイオンポンプは、超高真空を実現するために使用されるポンプであり、磁場の最適化が求められる各種分析装置や加速器などに幅広く採用されています。

ULVACの駆動型ポンプは、超高真空・極高真空領域における排気性能の向上と磁場の最適化を目的として、新たな駆動素子（駆動エレメント）の開発に基づいて設計されています。

クライオポンプ

CRYO-Uシリーズ

CRYO-Uシリーズは、2段式GM冷凍機を搭載したドライ型クライオポンプで、高い真空排気性能を実現しています。

FPD、半導体、電子機器、光学分野および研究開発（R&D）など、さまざまな用途に対応するため、小型から大型まで幅広いラインアップを取り揃えています。