ULVAC Vietnam Representative Office
多段ルーツ式ドライポンプ GRシリーズ
ULVACは、LR/HRシリーズで培った長年の経験を基に、一般産業用途向けにシンプルでクリーンな設計を採用したGRシリーズドライポンプを開発しました。
特長
・大気圧と真空間での繰り返し排気や、高圧力領域での連続運転など、高負荷用途に特に適しています。
・高スループットが要求されるロードロック／アンロードロックチャンバーに適しています。
・汎用誘導モーターを採用しています。防爆モーターはオプションとして対応可能です。
・モーター容量については、ご注文時に必要な電圧をご指定ください。200 VACクラスまたはマルチ電圧対応モーターも選択可能です。
用途
・空気や不活性ガスなどのクリーンガス用真空ポンプ。
・各種成膜装置のロードロックチャンバーのロード／アンロード用途。
・真空乾燥装置、真空断熱におけるガス置換・充填、真空脱気などの一般産業用途。
仕様表
型式 | GR60A | GR90A | GR180A | ||||
| Hz | 50Hz | 60Hz | 50Hz | 60Hz | 50Hz | 60Hz | |
| 最大排気速度 | |||||||
| L/min | 1030 | 1333 | 1860 | 2100 | 3100 | 3950 | |
| cfm | 36.4 | 47.1 | 65.7 | 74.2 | 109.5 | 139.5 | |
| 最大圧力 | 5.0Pa *1 | ||||||
| 3.7 x 10-2Torr *1 | |||||||
| 5.0 x 10-2mbar *1 | |||||||
| 最大吸気圧力 | Atmospheric pressure | ||||||
| 最大排気圧力 | 1.0Pa to Atmospheric pressure | ||||||
| 7.5 x 10-3Pa to Atmospheric pressure | |||||||
| 1.0 x 10-2mbar to Atmospheric pressure | |||||||
| 吸気口 | VG50 or ISO63F | Equivalent to VG80 or ISO80F | |||||
| 排気口 | NW40 | ||||||
| 表面処理 | Standard option | ||||||
| 重量 | 128kg | 188kg | 268kg | ||||
| 冷却水 | 供給圧力 | 0.1 to 0.3MPa | |||||
| 14.5 to 43.5psi | |||||||
| 入口・出口間差圧 | >0.1MPa | ||||||
| >14.5psi | |||||||
| 温度 | 10 to 30oC *2 | ||||||
| 50 to 86℃ | |||||||
| 流量 | >5.0L/m | ||||||
| N2 | 一次側供給圧力 | 0.1 to 0.5MPa | |||||
| 14.5 to 72.5psi | |||||||
二次側調整圧力 | 0.05 to 0.1 (at running) | ||||||
| 7.3 to 14.5psi | |||||||
軸 | 5SLM *4 | ||||||
■ ご注文時に、下記表よりモーター電圧を指定してください。
200Vクラスモーターまたはマルチ電圧対応モーター
型式 | GR60A | |||||||||||||||
| 選択モーター | 200V class motor | Multiple voltage motor | ||||||||||||||
| 周波数 | Hz | 50 | 60 | 50 | 60 | 50 | 60 | |||||||||
| 電圧 | V | 200 | 200 | 220 | 220 | 240 | 208 | 220 | 240 | 380 | 400 | 415 | 380 | 440 | 460 | |
| 電流 | A | 9.2 | 8.8 | 8.1 | 8.1 | 8.1 | 8.5 | 8.1 | 7.4 | 4.8 | 4.8 | 4.7 | 4.6 | 4.3 | 4.1 | |
| 配線 | Δ結線 | Δ結線 | Y結線 | |||||||||||||
| 型式 | GR90A | |||||||||||||||
| モーター選択 | 200V class motor | Multiple voltage motor | ||||||||||||||
| 周波数 | Hz | 50 | 60 | 50 | 60 | 50 | 60 | |||||||||
| 電圧 | V | 200 | 200 | 220 | 220 | 240 | 208 | 220 | 240 | 380 | 400 | 415 | 380 | 440 | 460 | |
| 電流 | A | 14.2 | 14.1 | 12.8 | 12.8 | 12.7 | 13.4 | 12.8 | 11.8 | 7.5 | 7.4 | 7.3 | 7.3 | 7 | 6.3 | |
| 配線 | デルタ結線 | Delta wiring | Star wiring | |||||||||||||
Model | GR180A | |||||||||||||
| 選定モーター | Common multiple volt motor available for this pump | |||||||||||||
| 周波数 | Hz | 50 | 60 | 50 | 60 | |||||||||
| 電圧 | V | 200 | 200 | 240 | 200 | 208 | 220 | 240 | 380 | 400 | 415 | 380 | 440 | 460 |
| 電流 | A | 26.1 | 25.1 | 25.7 | 26.3 | 24.9 | 23.9 | 22.5 | 14.5 | 14.7 | 14.9 | 13.9 | 13.3 | 12.5 |
| 結線 | Δ結線 | Star wiring | ||||||||||||
■ 消音器（オプション）
| Model | Chất liệu | Xử lý bề mặt | Trọng lượng (kg) | Mặt bích kết nối |
| RS-01 | SUS304 | Xử lý GBB | 4.1 | NW40 |
| RS-02 | SUS304 | Xử lý GBB | 8.3 | NW40 |
■ 承認表
| Kiểu Kit | Xử lý cho | Kẹp | Vòng ngoài | Mặt bích kết nối | Stay |
| RS-01 kitA | GR60,GR90 | 1 | 1 | – | – |
| RS-01 kitC | GR180A | 2 | 2 | 1 | 1 |
流量電圧型式電流配線デルタ結線デルタ結線選定モーターΔ結線
