ULVAC Vietnam Representative Office
CRシリーズ 多段式ドライブースターポンプ
CR Ver.Bシリーズ 多段式ドライブースターポンプ CR Ver.Bシリーズは、空冷式のドライ真空ポンプです。CE、cTUVusなどの国際規格に対応しています。 ポンプヘッド内部にオイルを使用せず、ローターとシリンダーが非接触構造であるため、安定した運転と長寿命を実現しています。
特長（とくちょう）
- 空冷方式により、運転コストを低減できます。
- 冷却水および窒素ガスを必要としません。
- 低消費電力、気密構造、軽量設計が本ポンプの大きな特長です。
- ガスバラストを使用することで、水蒸気の排気が可能です。
- 適用規格：CE、cTUVus
用途（ようと）
空気、その他の不活性ガスなどのクリーンガス用真空ポンプ
真空乾燥装置などの水蒸気排気用真空ポンプ（ガスバラストが必要）
スパッタ装置、蒸着装置などの真空装置
CRシリーズ 多段式ドライブースターポンプ 仕様
| 型式（かたしき) | CR16B | CR30B | CR60B | CR300B | |||||||
| 最大排気速度 | m3/h | 16 | 30 | 55 | 300 | ||||||
| L/min | 280 | 500 | 920 | 5000 | |||||||
| cfm | 9.8 | 17.6 | 32.4 | 176 | |||||||
| 最大圧力 ※1 | Pa | ≦ 3 | ≦ 0.5 | ||||||||
| 最大吸入圧力 | Áp suất khí quyển | ||||||||||
| 最大排気圧力 | Áp suất khí quyển | ||||||||||
| 電源 ※2 | (Phase) V |
(1) (1) (3) 100V 200V 200V |
(1) 200V |
(3) 200V |
(3) 200V |
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| 消費電力 | |||||||||||
| 入力（にゅうりょく） | KF25 | KF40 | KF50 | ||||||||
| 排気口 | KF25 | KF40 | |||||||||
| 質量（しつりょう | kg | 35 | 48 | 100 | |||||||
| 適合規格（てきごうきかく） | CE,cTUVus | ||||||||||
| 冷却方式（れいきゃくほうしき | Làm mát bằng không khí | ||||||||||
| ガスバラスト機構 ※3 | Equipped | ||||||||||
| 最大水蒸気処理量 ※4 | g/h | < 300 | < 500 | ||||||||
| 必要規格（ひつようきかく） |
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※1：最大圧力は、ガスバラストを閉じた状態での圧力です。
※2：ご注文時には、相（Phase）および電圧を必ずご指定ください。
※3：ガスバラスト用バルブはオプションです。
※4：最大水蒸気許容量は、ガスバラスト使用時の値です。
| オプション | |||||||||||
| 仕様（しよう） | CR16B | CR30B | CR60B | CR300B | |||||||
| ガスバラスト | ニードルバルブ | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ||||||
| 電磁弁およびニードルバルブ | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |||||||
| ゴム脚（ゴムあし） | – | 〇 | 〇 | 〇 | – | ||||||
| 付属品（ふぞくひん） | |||||||||||
| 仕様（しよう） | CR16B | CR30B | CR60B | CR300B | |||||||
| サイレンサー | RS-01＋KitD | 〇 | 〇 | – | – | ||||||
| RS-01＋KitA | – | – | 〇 | – | |||||||
| RS-01＋KitC | – | – | – | 〇 | |||||||
| 単体サイレンサー ※1 | EFS-11-NW25/2/2516 | 〇 | 〇 | – | – | ||||||
| EFS-19-NW40/1*2 | – | – | 〇 | 〇 | |||||||
| 防音カバー | – | 〇 | 〇 | 〇 | – | ||||||
| 電源対応ボックス | Ver.A → Ver.B | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ||||||
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※1：内部部品は定期的な交換・メンテナンスが必要です。 ※2：設備側の配管システム（オープンタイプ）には接続できません。 |
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