ULVAC Vietnam Representative Office
CR 시리즈 다단식 드라이 부스터 펌프
CR 시리즈 Ver.B 다단식 드라이 부스터 진공 펌프는 공랭식 구조의 드라이 진공 펌프이며, 국제 안전 규격(CE, cTUVus)을 준수합니다. 펌프 내부에 오일이 없고 로터와 실린더가 비접촉 구조로 설계되어 안정적인 운전과 긴 수명을 실현합니다.
특징
- 공랭식 구조로 운전 비용을 절감할 수 있습니다.
- 냉각수 및 질소 가스 공급이 필요하지 않습니다.
- 낮은 소비 전력, 기밀 구조 및 경량 설계가 본 펌프의 주요 특징입니다.
- 가스 밸러스트 기능을 사용하여 수증기 배기가 가능합니다.
- 적용 규격: CE, cTUVus
응용 분야
- 공기 및 불활성 가스와 같은 청정 가스 배기에 적합한 진공 펌프
- 진공 건조 장비의 수증기 배기 (가스 밸러스트 필요)
- 스퍼터 장비, 증착 장비 등 다양한 진공 장비에 적용 가능
사양
| 모델 | CR16B | CR30B | CR60B | CR300B | |||||||
| 최대 배기 속도 | m3/h | 16 | 30 | 55 | 300 | ||||||
| L/min | 280 | 500 | 920 | 5000 | |||||||
| cfm | 9.8 | 17.6 | 32.4 | 176 | |||||||
| 최대 압력 *1 |
Pa | ≦ 3 | ≦ 0.5 | ||||||||
| 최대 흡입 압력 | 대기압 | ||||||||||
| 최대 배기 압력 | 대기압 | ||||||||||
| 전원*2 | (Phase) V |
(1) (1) (3) 100V 200V 200V |
(1) 200V |
(3) 200V |
(3) 200V |
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| 출력 | |||||||||||
| 흡입구 | KF25 | KF40 | KF50 | ||||||||
| 배기구 | KF25 | KF40 | |||||||||
| 중량 | kg | 35 | 48 | 100 | |||||||
| 적용 규격 | CE,cTUVus | ||||||||||
| 냉각 방식 | 공랭식 | ||||||||||
| 가스 밸러스트 기능*3 | 적용 | ||||||||||
| 최대 수증기 처리량*4 | g/h | < 300 | < 500 | ||||||||
| 필요 부품 |
전원 커넥터, 리모트 커넥터, 사용 설명서, 에어 필터, 보호 커버 |
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※1：최대 압력은 가스 밸러스트 밸브가 닫힌 상태에서의 압력입니다.
※2：주문 시 상 및 전압을 지정해 주십시오.
※3：가스 밸러스트 밸브는 옵션입니다
※4：최대 수증기 처리량은 가스 밸러스트 사용 시의 값입니다.
| 옵션 | |||||||||||
| 사양 | CR16B | CR30B | CR60B | CR300B | |||||||
| 가스 밸러스트 | 니들 밸브 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ||||||
| 솔레노이드 밸브 및 니들 밸브 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |||||||
| 고무 풋 | – | 〇 | 〇 | 〇 | – | ||||||
| 액세서리 | |||||||||||
| 사양 | CR16B | CR30B | CR60B | CR300B | |||||||
| 소음기 | RS-01＋KitD | 〇 | 〇 | – | – | ||||||
| RS-01＋KitA | – | – | 〇 | – | |||||||
| RS-01＋KitC | – | – | – | 〇 | |||||||
| 단독 소음기*1 | EFS-11-NW25/2/2516 | 〇 | 〇 | – | – | ||||||
| EFS-19-NW40/1*2 | – | – | 〇 | 〇 | |||||||
| 방음 커버 | – | 〇 | 〇 | 〇 | – | ||||||
| 전원 변환 박스 | A 타입 → B 타입 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ||||||
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* 1 내부 부품은 정기적인 교체 및 유지보수가 필요합니다 * 2 공장 배관 시스템과 연결할 수 없습니다. (오픈 타입) |
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