ULVAC Vietnam Representative Office
UTM-FW/FH 시리즈 터보 분자 펌프
UTM-FW/FH 시리즈는 5축 자기 부상 방식을 적용한 복합형 터보 분자 펌프로, 고성능, 높은 신뢰성 및 에너지 절감과 같은 장점을 디지털 기술을 통해 제어하고 구현합니다. UTM-FH 시리즈는 수소에 대한 압축비를 향상시킨 고배압형 및 고압축형 모델로, 경공정부터 중간 정도의 공정에 적합합니다. UTM-FW 시리즈는 광대역·고유량형 모델로, 고부하 공정 및 중간 공정부터 고난도 공정까지 대응할 수 있습니다.
특징
케이블 길이의 자유로운 조정: 커넥터가 필요 없는 시스템과 자유롭게 조정 가능한 구조를 적용하여, 모든 전원 공급 장치와 펌프 본체를 조합할 때 케이블 길이에 제한이 없습니다.
가변 속도 시스템: 펌프 속도를 25%~100% 범위에서 자유롭게 변경할 수 있습니다.
뛰어난 내식성 표면 처리: 필요에 따라 니켈 도금 + 전착, 특수 증착막, 알루미늄 아노다이징 등 다양한 특수 표면 처리 옵션을 제공합니다.
옵션형 내부 히팅 시스템: 로터의 온도를 제어하고 반응 부산물의 부착을 줄일 수 있도록 내부 히팅 시스템을 옵션으로 제공합니다.
안전성을 고려한 설계: 펌프 이상 발생 시 에너지를 흡수하는 파손 에너지 흡수 구조를 적용하여 진공 시스템에 미치는 손상을 최소화합니다.
응용 분야
- 건식 식각, CVD 시스템 등 중공정부터 고난도 공정에 사용되는 메인 진공 펌프입니다.
사양
| Wide range and high throughput models | High back-pressure and high compression models | Inlet flange size | N2pumping speed(L/s) *1 *2 |
| – | UTM-6300FH | VG500 | 6300 |
| UTM-3301FW | UTM-3303FH | VG350 | 3300 |
| UTM-2300FW | – | VG300 | 2730 |
| VG250 | 2230 | ||
| ICF305 | 2110 | ||
| UTM-1400FW | – | VG250 | 1490 |
| VG200 | 1360 | ||
| ICF253 | 1300 | ||
| UTM-1001FW | UTM-1001FH | VG200 | 1000 |
| ICF253 | 1000 | ||
| UTM-800FW | UTM-800FH | VG150 | 810 |
| ICF203 | 740 | ||
| UTM-480FW | UTM-480FH | VG150 | 480 |
| ICF203 | 480 | ||
| UTM-350FW | UTM-350FH | VG100 | 350 |
| ICF152 | 330 |
| *1 | JVIS005 규격에 따라 측정된 값 또는 해당 기준을 바탕으로 산출된 값입니다. |
| *2 | 보호 그리드는 사용하지 않습니다. |
