涡轮分子泵 UTM-FW/FH 系列

Home / 产品 / 真空组件 / 真空泵 / 涡轮分子泵 UTM-FW/FH 系列

UTM-FH 和 UTM-FW 系列是采用五轴磁悬浮和数字控制的复合涡轮分子泵，具有高性能、高可靠性和节能等优势。 UTM-FH 系列在氢气压缩比方面得到提升，属于高背压、高压缩型，适用于轻负荷到中等负荷的工艺。 UTM-FW 系列属于宽范围、大流量型，适用于高负荷工艺以及中等至苛刻的工艺条件。

特点

由于采用无联轴器系统和免调谐系统，可以自由组合任意电源与泵主体，并且可改变电缆长度。
变速系统使抽速在 25% 至 100% 范围内可调。
采用优异的防腐蚀表面处理，并可根据需要提供特殊表面处理（如镀镍 + 阳离子电沉积、特殊涂膜、铝阳极氧化）。
可选配内部加热系统，用于控制转子温度并减少副反应产物的附着。
安全设计采用吸收断裂能量的结构，当泵发生故障时，可降低对真空系统的损害。

应用涡轮分子泵 UTM-FW/FH 系列

主要用于中等至苛刻工艺的抽气，例如干法刻蚀、CVD 系统等。

技术参数

宽范围、大抽速型号	高背压、高压缩型号	入口法兰尺寸	氮气抽速(L/s) 1 2
–	UTM-6300FH	VG500	6300
UTM-3301FW	UTM-3303FH	VG350	3300
UTM-2300FW	–	VG300	2730
		VG250	2230
		ICF305	2110
UTM-1400FW	–	VG250	1490
		VG200	1360
		ICF253	1300
UTM-1001FW	UTM-1001FH	VG200	1000
UTM-1001FW	UTM-1001FH	ICF253	1000
UTM-800FW	UTM-800FH	VG150	810
UTM-800FW	UTM-800FH	ICF203	740
UTM-480FW	UTM-480FH	VG150	480
UTM-480FW	UTM-480FH	ICF203	480
UTM-350FW	UTM-350FH	VG100	350
UTM-350FW	UTM-350FH	ICF152	330

*1	数值按照 JVIS005 标准测量，或基于该标准计算得出。
*2	未使用防护网。

除了经销 ULVAC 真空泵系列之外，ULVAC 工程师还在越南现场执行这些真空泵的维护与维修，24 小时随时支持设备停机的故障排查。若您需要任何咨询，请致电热线：0988 248 567（Ngoc 先生）或 0936 151 138（Hao 女士）。