电源

直流电源

DPG-10/DPG-20 是用于溅射的 10kW/20kW 直流电源。它们由可靠的元件和电路构成。这些高可靠性的电源经过优化，适用于等离子体负载，其设计凝聚了我们多年在电源应用方面的经验。

由于基本性能已是理所当然，DCS 系列具有出色的性价比，并被广泛应用于各种工艺。
与 A2K 弧光抑制装置组合使用，在反应溅射中效果显著。

在反应溅射工艺中，A2K 系列异常放电防止装置向直流电源施加正电压脉冲，以中和靶材上的电荷。

MFU-20K 是一款装置，可与 ULVAC 直流电源（DPG 系列）配合使用，将直流输出转换为双极性脉冲输出。
它能够在低成本的情况下提升生产效率和处理量。

用于等离子体工艺的射频电源，频率 13.56MHz，输出功率为 0.5kW/1kW/3kW/5kW。
通过采用高效率射频放大器，实现了小型化和轻量化。
射频电源内置自动匹配控制器功能，仅凭主机即可完成射频电源的功率控制和匹配系统的控制。