射频电源 RFS-N 系列（带匹配箱）
适用于等离子体工艺的射频电源，频率为 13.56MHz，输出功率为 0.5kW / 1kW / 3kW / 5kW。 通过采用高效率射频放大器，实现了小型化和轻量化。 射频电源内置自动匹配控制器功能，仅凭主机即可完成射频电源的功率控制和匹配系统的控制。
特点
- 采用高效率放大器
通过具有良好功率转换效率的射频电路结构实现节能。 - 高速自动匹配
采用高速算法，实现高速自动匹配。 - 射频电源内置自动匹配功能
仅凭电源主机即可实现匹配系统控制。还可通过内部控制器进行射频电源与匹配箱的手动操作。 - 支持灵活的控制配置
支持外部模拟控制和串行通信控制。 - 高可靠性
设计中融入了我们作为设备制造商多年积累的经验。
应用
溅射与化学气相沉积 (CVD)
等离子体刻蚀
射频离子源
中和器
技术参数
[电源发生器]
| 型号 | RFS-1305N | RFS-1310N | RFS-1330N | RFS-1350N | |
| 输入规格 | 额定输入电压 | AC200 to 220V | |||
| 输入电压波动范围 | AC180～242V | ||||
| 相数、频率 | 1phase 50/60Hz | 3phase 50/60Hz | |||
| 输入连接器 | 卡口锁紧圆形连接器 DCA3102E16-10P-D | 卡口锁紧圆形连接器 DCA3102E22-22P-D | |||
| 输入容量 | 1.2 kVA 以下 | 1.8 kVA 以下 | 5 kVA以 以下 | 8 kVA 以下 | |
| 输入电流 | 10A 以下 | 25A 以下 | 30A 以下 | ||
| 漏电流 | 5mA 以下 | ||||
| 输出规格 | 振荡频率 | 13.56MHz | |||
| 额定行波功率 | 500W（50Ω 负载） | 1000W（50Ω 负载） | 3000W（50Ω 负载） | 5000W（50Ω 负载） | |
| 最大反射波功率 | 100W | 500W | |||
| 输出阻抗 | 50Ω | ||||
| 谐波失真率 | -35dB 以下（额定输出，连续模式 | ||||
| 输出连接器 | N 型 | HN 型 | DIN 7/16 | ||
| 控制器 | 控制方式 | 功率控制模式 | |||
| 控制精度 | 额定输出 ±2% 以下（额定功率 10–100%） | ||||
| 冷却方式 | 风冷 | 水冷 | |||
| 无需冷却水 | 流量 4L/min | 流量 6L/min | |||
| 控制保证范围 | 额定功率 10～100% | ||||
| 外形尺寸W x D x H | 240mm x 495mm x 150mm （不含凸出部分） | 480mm × 500mm × 150mm （不含凸出部分） | |||
| 重量 | 11kg | 23kg | |||
[匹配箱]
| 型号 | MBX-1305N | MBX-1310N | MBX-1330N | MBX-1350N | |
| 射频输入 | 输入频率 | 13.56MHz | |||
| 额定功率 | 10～500W | 10～1000W | 30～3000W | 50～5000W | |
| 输入连接器 | N 型 | HN 型 | DIN 7/16 型 | ||
| 射频输出 | 允许输出电压 | 2.5kVpp 以下 / 2.5kVdc 以下 | 5.0kVpp 以下 / 2.5kVdc 以下 | 10kVpp 以下 / 2.5kVdc 以下 | |
| 允许输出电流 | 30A 以下 | 80A 以下 | 120A 以下 | ||
| 负载阻抗 | 实部：0.5Ω ≦ R ≦ 10.0Ω（仅在规定电压和电流范围内） | ||||
| 残余反射波功率 | 输入行波功率的 0.3％ 以下或 ≤10W | 输入行波功率的 0.3％ 以下或 ≤30W | 输入行波功率的 0.3％ 以下或 ≤50W | ||
| 冷却系统 | 风冷 | 风冷 + 水冷（流量 2L/min） | |||
| 外形尺寸 W x D x H | 375mm x 250mm x 120mm（不含凸出部分） | 375mm x 250mm x 170mm （不含凸出部分） | 450mm x 500mm x 248mm （不含凸出部分） | ||
| 重量 | 约8kg | 约10kg | 约 21kg | ||
* 工作环境温度 10～40℃（无结露）
* 工作环境：避免阳光直射、热源、粉尘、振动，并且不得含有腐蚀性气体
除了经销 ULVAC 电源系列之外，ULVAC 工程师还在越南现场执行这些电源的维护与维修，24 小时随时支持设备停机的故障排查。若您需要任何咨询，请致电热线：0988 248 567（Ngoc 先生）或 0936 151 138（Hao 女士）。
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