涡轮分子泵 UTM-MI 系列
涡轮分子泵 UTM-MI 系列 控制器一体化的磁悬浮涡轮分子泵，可节省配线工作和安装空间。
特点
- 控制器与泵体一体化：泵体与控制器之间无需布线。
- 自由安装方向：自由的安装方向使系统设计更加灵活。
- 提供 5 种型号，抽速范围从 1000 L/s 到 4000 L/s。
- 适用于轻负荷工艺的宽范围、大流量。
- 泵转速可在 25% 至 100% 之间调节：可实现腔体内压力调节。
- 高耐久性与安全性：通过了空气突入测试、触地测试等安全确认试验。
应用 涡轮分子泵 UTM-MI 系列
- 主要用于设备的真空抽气系统：
・半导体设备
・蒸发器、溅射系统
・分析设备、实验装置等 - 主要用于不会产生副反应产物的轻负荷工艺的真空抽气系统。
- 可替代油扩散泵。
- 适用于高真空排气系统的一般用途。
技术参数
| 型号 | UTM1200A | UTM1600A | UTM2300A | UTM3400A | ||
| 入口端口 | VG150 ISO160F | VG200/VG250 ISO200F/ISO250F | VG250 ISO250F | VG300/VG350 ISO320F | ||
| 出口端口 | KF40 | |||||
| 极限压力(*1) | Pa | 10-7 | ||||
| 抽速(*2)(*3) | N2 | L/s | 1030 | 1400 | 2100 | 3200 |
| Ar | L/s | 980 | 1330 | 2000 | 3100 | |
| H2 | L/s | 660 | 750 | 1380 | 2100 | |
| 压缩比 | N2 | 2×108 | ≧ 1×108 | ≧ 1×109 | ||
| He | 7×103 | 5×103 | 1×105 | |||
| H2 | 8×102 | 9×102 | 6×103 | |||
| 最大入口压力(*4) | Pa | 26 | 4.5 | 7 | ||
| 最大出口压力(*4) | Pa | 266 | 200 | 270 | ||
| 转速 | min-1 | 37200 | 33700 | 27600 | ||
| 转速变化 | 转速可在额定转速的 25% 至 100% 之间调节。（设定为 0.1% | |||||
| 启动时间 | ≦ 8分钟 | ≦ 9分钟 | ≦ 16分钟 | |||
| 安装位置 | 任意方向 | |||||
| 表面处理(*5) | 无 | |||||
| 通讯 | 接口 | D-sub 25 针母 接点输入输出信号 | D-sub 37 针母 接点输入输出信号 | |||
| 序列号 | 串口连接器 RS232C/RS485 | D-sub 9 针公 RS232C/RS485 | ||||
| 控制器 | 组成 | 控制器一体化泵 | ||||
| 输入电力 | 单相 AC200〜240V ±10%（50/60Hz ±2Hz） | |||||
| 最大功率 | 0.75kVA | 1.2kVA | ||||
| 冷却方式 | 水冷 | |||||
| 冷却水(*6) | 流量 | L/min | 3～4 | |||
| 压力 | MPaG | 0.2 ～ 0.4 | ||||
| 噪音 | dB(A) | 57 | 60 | |||
| 重量 | kg | 43 | 41 | 56 | 94 | |
| 推荐前级泵(*7) | ≧ 600L/min | ≧ 1500L/min | ||||
| 适用标准 | CE、TUVus | |||||
| 标准附件 | O 型圈（仅限 VG）、防尘盖（排气口）、遥控连接器、使用说明书（光盘） | |||||
| 可选部件 | AC 电缆 | AC 接头 / AC 电缆（5米/10米/15米/20米） | ||||
| 固定泵专用螺栓 | M10(Non-RoHS / RoHS)/ M12(Non-RoHS / RoHS) | |||||
| 固定泵专用螺栓 | 需要（M10）（*8） | 不需要（*8） | ||||
| 选配件 | 气体置换接头（KF10） | |||||
注释 涡轮分子泵 UTM-MI 系列：
*1：表示数字编号。
*2：无防护网。
*3：计算值：UTM2300A 和 UTM3400A。
*4：最大入口压力与最大出口压力不能同时满足。
*5：请勿通入反应性气体和腐蚀性气体。如使用其他气体，请联系我们。
*6：不凝结。
*7：在抽气 30SCCM 时。
*8：螺栓等级、固定方法等因条件而异。详情请联系我们。
除了经销 ULVAC 真空泵系列之外，ULVAC 工程师还在越南现场执行这些真空泵的维护与维修，24 小时随时支持设备停机的故障排查。若您需要任何咨询，请致电热线：0988 248 567（Ngoc 先生）或 0936 155 1138（Hao 女士）。
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