BƠM TURBO UTM-MI
BƠM TURBO UTM-MI Bộ điều khiển bơm phân tử turbo tích hợp với vòng bi từ tính giúp tiết kiệm công việc nối dây và không gian lắp đặt.
ĐẶC ĐIỂM
- Bộ điều khiển tích hợp với thân máy bơm: Không có công việc nối dây giữa thân máy bơm và bộ điều khiển.
- Hướng lắp tự do: Hướng lắp tự do giúp thiết kế hệ thống linh hoạt.
- 5 kiểu từ 1000L / s đến 4000L / s
- Phạm vi rộng và lưu lượng cao cho các quy trình nhẹ.
- Biến vòng quay của bơm từ 25% đến 100%: Cho phép điều chỉnh áp suất trong buồng.
- Độ bền và độ an toàn cao: Đã vượt qua các bài kiểm tra xác nhận an toàn, chẳng hạn như kiểm tra luồng không khí vào và kiểm tra chạm xuống.
ỨNG DỤNG BƠM TURBO UTM-MI
・ Thiết bị bán dẫn
・ Hệ thống bay hơi, phún xạ
・ Thiết bị phân tích, thiết bị thí nghiệm và v.v.
- Hệ thống bơm chân không chính cho các quá trình nhẹ không tạo ra các sản phẩm phản ứng phụ.
- Thay thế từ bơm khuếch tán dầu
- Sử dụng chung cho hệ thống hút chân không cao.
BẢNG TIÊU CHUẨN
| Model | UTM1200A | UTM1600A | UTM2300A | UTM3400A | ||
| Inlet port | VG150 ISO160F | VG200/VG250 ISO200F/ISO250F | VG250 ISO250F | VG300/VG350 ISO320F | ||
| Outlet port | KF40 | |||||
| Ultimate pressure(*1) | Pa | 10-7 | ||||
| Pumping speed (*2)(*3) | N2 | L/s | 1030 | 1400 | 2100 | 3200 |
| Ar | L/s | 980 | 1330 | 2000 | 3100 | |
| H2 | L/s | 660 | 750 | 1380 | 2100 | |
| Compression rate | N2 | 2×108 | ≧ 1×108 | ≧ 1×109 | ||
| He | 7×103 | 5×103 | 1×105 | |||
| H2 | 8×102 | 9×102 | 6×103 | |||
| Max inlet pressure(*4) | Pa | 26 | 4.5 | 7 | ||
| Max outlet pressure(*4) | Pa | 266 | 200 | 270 | ||
| Rotation speed | min-1 | 37200 | 33700 | 27600 | ||
| Speed variation | Speed is variable between 25% and 100% of the rated speed.（ set as 0.1%） | |||||
| Start-up time | ≦ 8minutes | ≦ 9minutes | ≦ 16minutes | |||
| Mounting position | In any desired direction | |||||
| Surface treatment(*5) | None | |||||
| Commun ication | Contact | D-sub 25 pin female Contact input and output signal | D-sub 37 pin female Contact input and output signal | |||
| Serial | Serial connecter RS232C/RS485 | D-sub 9 pin male RS232C/RS485 | ||||
| Controller | Composition | Pump with integrated controller | ||||
| Input electric power | Single phase AC200 〜240V ±10%（ 50/60Hz ±2Hz） | |||||
| Max power | 0.75kVA | 1.2kVA | ||||
| Cooling method | Water cooled | |||||
| Cooling water(*6) | Flow rate | L/min | 3～4 | |||
| Pressure | MPaG | 0.2 ～ 0.4 | ||||
| Noise | dB(A) | 57 | 60 | |||
| Weight | kg | 43 | 41 | 56 | 94 | |
| Recommended backing pump(*7) | ≧ 600L/min | ≧ 1500L/min | ||||
| Applicable standard | CE、TUVus | |||||
| Standard accessories | O-ring(Only VG)、Dust cap(Outlet port)、Remote-control Connector、Instruction manual(CD-ROM) | |||||
| Select parts | AC Cable | AC Conector / AC Cable(5m/10m/15m/20m) | ||||
| Special bolt for fixing pump | M10(Non-RoHS / RoHS)/ M12(Non-RoHS / RoHS) | |||||
| Special bolt for fixing pump | Need（M10）（*8） | Not Need（*8） | ||||
| Option | Gas purge adaptor (KF10) | |||||
CHÚ THÍCH BƠM TURBO UTM-MI
* 1 : Chữ số được thể hiện.
2 ： Không có lưới bảo vệ.
3 ： Giá trị được tính toán: UTM2300A và UTM3400A
4 ： Không thể đồng thời thỏa mãn áp suất đầu vào tối đa và áp suất đầu ra tối đa.
5 ： Không dùng khí phản ứng và khí ăn mòn. Vui lòng liên hệ với chúng tôi khi sử dụng các loại khí khác.
6 ： Không ngưng tụ
7 ： Khi hút 30SCCM
8 ： Cấp độ của bu lông, phương pháp cố định, v.v. tùy thuộc vào các điều kiện khác nhau. Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thông tin chi tiết.
Follow us
Zalo
Line Add
Contact Us
ULVAC Vietnam Representative Office
29/11/100 Le Duc Tho Street, Ward 7, Go Vap District Ho Chi Minh City, Vietnam
5/5/42 Thanh Binh Street, Hai Duong Province, Vietnam