热阴极真空计 SH200 系列
全新 G-TRAN 系列多离子化真空规是一种可连接不同类型传感头的变换器型产品。 该产品为 B-A 型离子真空规，可用于超高真空测量。 继承了宽范围测量和低运行成本的理念，并进一步提升了用户友好性。
特点
- ULVAC 独有理念：可根据应用连接不同量程的传感头。
- 紧凑：与前一系列相比大幅小型化（控制器体积减少 56%），属世界最小级别。
- 高可用性：通过连接 PC/Android 可进行设定点设定、状态检查等。
- 更多选择：除模拟输出和串行通信规格外，还可提供 EtherCAT 规格。
- 灯丝寿命通知功能：通过监测灯丝功率，可在离子真空规寿命结束前提前发出警告。
- 宽范围测量：配合选购单元 SWU10-R，可实现从大气压到超高真空（1×10⁵～5×10⁻⁸ Pa）的测量。
- 精确大气压检测：配合选购单元 SAU，可进行开腔时的大气压检查。
应用
- 用于半导体或电子器件真空设备的高真空范围工艺控制。
- 用于具有多个工艺腔体的在线式或批量式真空设备的极限压力检测。
- 用于高真空或超高真空设备的压力测量。
技术参数
| 型号 | SH200-A | SH200-R | HT200-E （计划发布） | |
| 类型 | 模拟输出型 | 串行通信型 | EtherCAT 通信型 | |
| 适用电离真空规传感头 | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) | |||
| 可连接传感器 | 多电离真空规 SH200: 1 皮拉尼真空规 SWU10-R: 1 (可选) 压力传感器单元 SAU: 1 (可选) | |||
| 重复性 (N₂) | SH200 简单模式: ±2％ | |||
| 采样时间 | 60 ms, 5x 倍移动平均 | |||
| 输出值 | 输出电压: 0 ~ 10 VDC, LOG 输出: 0.75 V/1 十倍 压力换算公式: V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2} | |||
| 更新周期 | 60msec | |||
| 控制输入信号 | FIL 开/关，FIL 1/2，DEGAS 开/关（开集电极输入，负逻辑） | – | – | |
| 控制输出信号 | 传感器错误、设定点 1/2/3、发射有效 灯丝电功率监控 额定值：24V 最大、50mA 最大 饱和电压：1V | – | – | |
| 通信类型 | – | RS232C/RS-485 | EtherCAT | |
| LED 显示 | POWER：电源，错误 LED（根据各模式闪烁模式与颜色变化） | |||
| 发射电流 | 1mA（1×10⁻³ Pa 以下），10μA（1×10⁻³ Pa 以上） | |||
| 脱气方式 | 电子轰击型：1mA，330V | |||
| 传感器最大压力 | 2×10⁵ Pa（1.5×10³ Torr，2×10³ mbar）（绝对压力） ＊需要单独考虑耐压能力，例如法兰和夹具。 | |||
| 传感器内部体积 | 17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46) | |||
| 使用温度范围 | 10 ~ 50℃ (50 ~ 122℉) | |||
| 使用湿度范围 | 15 ~ 80%（不凝露） | |||
| 存储温度 | -20 ~ 65℃ (-4 ~ 149℉) (未通电时，不凝露) | |||
| 防护等级 | IP30 | |||
| 电源电压 | DC20～28V（纹波、噪声 ≤1%）功耗 < 8W | |||
| 输入/输出连接器 | D-sub15 针（M2.6 螺钉） | |||
| 重量 | 传感单元：約 280g，传感头（M-44/45）：80g，（M-46）：300g | |||
| 尺寸 W x D x H | 69mm×63mm×90mm （仅传感单元） | |||
| 适用标准 | CE | |||
| 选件 | 多电离真空规传感头 | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) 与气体接触部分的材料：灯丝1、2 – Ir/Y₂O₃；其他 – PtC-Mo、SUS304、W、可伐玻璃、可伐/Ni 镀层 | ||
| 皮拉尼真空规 | SWU10-R（旧型号 SPU 也可用） | |||
| 皮拉尼真空规传感头 | SWP-16 (NW16)、SWP-25 (NW25)、SWP-R1/8 (R1/8)、SWP-P18 (Φ18 管端)、SWP-P15 (Φ15 管端)、SWP-CF16 (ICF034) 与气体接触部分的材料：灯丝 – Pt；其他 – BS/Ni 镀层、Ni、焊料 | |||
| 压力开关 | SAU (NW16) – 与气体接触部分的材料：SUS316L | |||
| 单元电缆 | GUC-200P（用于 SWU10-R）：0.5m、1m、2m GUC-200A（用于 SAU）：0.5m、1m、2m | |||
| 显示单元 | 1CH：ISG1(DC24V) | |||
| 显示电缆 | SH200 与显示单元之间的电缆 – 2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m | |||
| 接口 | I/O 连接器（D-sub15 插座，M2.6 mm 螺钉） | |||
| 其他 | 测试证书、校准证书 | |||
SH200 系列有三种选配模式：
・单一模式：配备多离子化真空规
・组合模式：多离子化真空规 + 皮拉尼真空规（SWU10-R）
・三重组合模式：多离子化真空规 + 皮拉尼真空规（SWU10-R）+ 压力开关（SAU）
| 模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E 简单模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E ＋SWU10-R 组合模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E ＋SWU10-R＋SAU 三重组合模式 |
| 可测量压力范围 | 5.0×10-8 ~ 1.0×10+1Pa | 5.0×10-8 ~ 1.0×10+5Pa | 5.0×10-8 ~ 1.0×10+5Pa |
| 精度 | 5.0×10-8 ~ 1.0×10+1Pa： ±15% | 5.0×10-8 ~ 1.0×10-1Pa：±15% 4.0×10-1 ~ 3.0×10+0Pa：±10～±15% 3.0×10+0 ~ 1.0×10+4Pa：±10% 1.0×10+4 ~ 1.0×10+5Pa：±20% | 5.0×10-8 ~ 4.0×10-1Pa：±15% 4.0×10-1 ~ 3.0×10+0Pa：±10～±15% 3.0×10+0 ~ 1.0×10+4Pa：±10% 1.0×10+4 ~ 3.0×10+5Pa：±3%F.S.(3.0×10+3Pa･基准温度: 25℃) |
| 连接示意图 |  |  |  |
| 可测压力范围示意图 |  当需要在开腔时进行“大气压”检查时，可使用三重组合模式。 | ||
与 PC/智能手机连接示意图
应用软件 “UL-MOBI”
| 电脑： | 从 ULVAC 官网 “ULVAC SHOWCASE” 下载中心下载 |
| 智能手机 | 从 Google Play 下载 |
Compatible devices
| 电脑： | Windows 10 64 位或更高版本 |
| 智能手机 | Android 6 或更高版本，USB Type-C 接口 |
I/O 和模拟地 (GND) 与电源地 (GND) 不隔离。
关注我们
Zalo
ZALO 0988248567
Line Add
联系我们
ULVAC Vietnam Representative Office
29/11/100 Le Duc Tho Street, Ward 7, Go Vap District Ho Chi Minh City, Vietnam
5/5/42 Thanh Binh Street, Hai Duong Province, Vietnam